带有帕邢堆叠的充电防护装置制造方法及图纸

一种基于ＭＥＭＳ的镜子，在相邻的电极之间设置有沟槽，以能够承受相对高的施加电压，从而基本上减少暴露于不受控制的表面电位。因而基于ＭＥＭＳ的镜子避免了电压漂移并具有改进的镜子定位稳定性。沟槽的尺寸被选择为使得在每对相邻的电极之间的施加电压保持在预定的限度内。绝缘层（例如，二氧化硅）将每对相邻的电极电隔离。每个绝缘层部分地在相关的沟槽上方延伸，并且由相同的高度和宽度尺寸表现其特征。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有帕邢堆叠的充电防护装置
技术介绍
本专利技术涉及微电子机械系统(MEMS)装置，更具体地，涉及适 用于安全地工作在高施加电压下的MEMS4竟子。MEMS装置通常部分地采用公知的集成电路(IC )制造工艺形成。 一种这类装置是适于响应静电驱动而枢转的带有万向架的镜子。这种 镜子的运动用于使光束改变方向。通常通过在衬底的平面表面上形成 的电极与位于该电极上方的镜子之间的电容效应获得静电驱动。为了 获得相对大范围的角运动，镜子以相对大的距离被悬挂在电极上方。 因此，为了产生驱动，相对大的电压通常是必要的。在实践中，能够施加的最大电压受到公知的电压击穿效应的限制。 例如，如果两个扁平电极被均匀的间隙分离，则周围气体发生击穿的 电压由图1所示的公知的帕邢曲线描述。如图l所示，精确的曲线取 决于周围气体的类型，但是大体的形状是类似的。击穿由不受控制的 (uncontrolled)电能放电表现其特征，这种不受控制的电能放电能够 对暴露于放电下的任何表面造成严重的物理损坏。除了周围气体的击穿，击穿还可沿着表面发生。如果两个导体由 绝缘体分离，则击穿能够沿着绝缘体的表面发生。与帕邢击穿不同， 表面击穿并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电控制微电子机械系统（ＭＥＭＳ）装置，包括：　第一电极和第二电极，形成于衬底中；　沟槽，被设置在所述第一电极与所述第二电极之间；　绝缘层，形成于所述第一电极与所述第二电极之间；所述绝缘层从所述沟槽的底面突出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩P斯泰克，安德烈斯费尔南德斯，亚历山大P金德沃，温沙E欧文斯，
申请(专利权)人：格雷姆格拉斯网络公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]