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一种基于ＭＥＭＳ的镜子，在相邻的电极之间设置有沟槽，以能够承受相对高的施加电压，从而基本上减少暴露于不受控制的表面电位。因而基于ＭＥＭＳ的镜子避免了电压漂移并具有改进的镜子定位稳定性。沟槽的尺寸被选择为使得在每对相邻的电极之间的施加电压保持...
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