利用三个驱动元件驱动双轴MEMS器件的方法和装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【专利说明】利用三个驱动元件驱动双轴MEMS器件的方法和装置 相关申请的交叉引用 不适用 关于专利技术是否属于联邦资助研究或开发项目的声明 不适用 涉及以光盘形式提交的"序列表"、表、或计算机程序列表附录 不适用 专利技术背景 本专利技术涉及微机电系统（MEMS)器件的驱动，尤其涉及双轴尖端倾斜（tip-tilt) MEMS镜子的驱动。本专利技术可应用于静电驱动光开关，但不局限于此。 利用四个驱动元件以静电驱动方式和磁驱动方式来驱动双轴尖端倾斜MEMS镜的 方案是众所周知的。四元件结构具有关于正交的尖端倾斜轴简明对称的优点，因此在倾斜 取向（orientation)和对各个驱动元件施加的电压或电流之间的变换函数是比较简明的。 通常的采用四个电极的驱动方法是对轴线同侧的成对电极加以驱动，以使其相对于轴线而 倾斜。 为了实现对单个驱动元件的控制，各个元件都需要其自身的电压或电流供应线及 其相关的驱动电路。对于采用近距离分开的镜子的阵列的光开关的情形，采用大量的供应 线和驱动电路会限制系统的设计。由于封装的约束，随着阵列中MEMS器件数目的增大，则 这些供应线的布设成为...
【技术保护点】
一种可受控进行双向角位移的具有两个轴的装置，包括：平台，其能够响应驱动而绕所述两个轴进行角位移；第一、第二和第三静电电极，其位于所述平台附近，仅利用所述三个电极来为所述平台提供直接的非接触式驱动，其中所述可进行角位移的两个轴的每一个将所述电极中的至少两个电极的中心分开，用以实现有效的双向角位移；三个电压控制源，其用于向所述第一、第二和第三电极提供对三个相应的静电力的独立控制；以及控制器，用于将相对于所述可进行角位移的两个轴的选定位置映射变换为所述三个静电力。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈斯·费尔南德斯，威廉·C·迪克森，
申请(专利权)人：格雷姆格拉斯网络公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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