温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了利用三个(1，2，3)非接触式驱动元件或电极驱动双轴“X－Y”MEMS镜子的方法和装置。差动双向镜子控制利用偏置以适当值的单极驱动电压实现。利用变换函数将双轴尖端倾斜指令映射变换为用于选定电极的取向和尺寸的三个激励驱动信号。...
该专利属于格雷姆格拉斯网络公司所有，仅供学习研究参考，未经过格雷姆格拉斯网络公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。