MEMS器件制造技术

本发明专利技术的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明专利技术能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】[
]本专利技术涉及一种MEMS器件。[
技术介绍
]近年来，利用被称为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)的半导体制造技术而形成的具有微小的机械要素的装置(MEMS器件)正得到开发，例如，作为陀螺仪传感器、加速度传感器而被实现。上述MEMS器件大多具备经由弹性体可振动地支持于基板的可动构件。已知具备可动构件的MEMS器件中，由于制造工程中所使用的液体的毛细管力(弯月面力)而产生使得可动构件粘着到其他构件上、被称为粘连(stiction)的现象。为了有效防止这样的粘连，可以减小可动构件和其他构件的接触面积。为此，例如提供如下方法：设置抵接于可动构件的小突起状的止动部，来防止可动构件与其他构件的接触(例如参照日本专利特开2014-71097号公报)。如上所述设置了止动部的MEMS器件中，例如当安装了MEMS器件的设备掉落等情况下，有冲击力作用，可动构件与止动部激烈碰撞，可动构件和止动部可能损坏。这样的可动构件和止动器的损害可能导致MEMS器件的功能受损。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特开2014-71097号公报[专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS器件，具有固定构件和通过弹性体可振动地得到支撑的可动构件，其特征在于：具备设置于该可动构件和固定构件的可碰撞部分处的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有：带板状的止动部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置于所述固定构件及所述可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定；以及突条部，该突条部在碰撞方向上，被突出地设置于所述固定构件及所述可动构件中的另一个、或者所述止动部，该突条部及止动部构成为当所述可动构件和所述固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.05 JP 2014-1166131.一种MEMS器件，具有固定构件和通过弹性体可振动地得到支撑的可动构件，其特征在于：具备设置于该可动构件和固定构件的可碰撞部分处的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有：带板状的止动部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置于所述固定构件及所述可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定；以及突条部，该突条部在碰撞方向上，被突出地设置于所述固定构件及所述可动构件中的另一个、或者所述止动部，该突条部及止动部构成为当所述可动构件和所述固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。2.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：松冈润弥，辻信昭，植屋夕辉，冈见威，沟田崇，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP