The invention provides a MEMS sensor with low stress packaging shell and packaging system, the package shell bottom is arranged inside the island structure and stress isolation groove, the bottom end of the packaging shell island structure and stress isolation groove, the stress isolation tank used for isolation of encapsulation shell deformation effect on the MEMS chip, MEMS chip to ensure regional stability; dispensing island location and area will vary according to the different chips, the packaging shell is aluminum nitride material, because the hook pin also play a supporting role and transmits electrical signals, in addition can isolation circuit board's deformation on the packaging shell besides, by the packaging shell and the circuit board are separated, when the temperature changes, the two do not because of contact stress, the stress isolation groove isolation from a stress encapsulation shell, It can not transmit to the MEMS chip; on the other hand, the thermal mismatch produces stress due to the fact that most of the MEMS chip is not in contact with the package shell.
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统
本专利技术属于微机电系统领域,具体涉及一种MEMS传感器低应力封装系统。
技术介绍
电子封装是将一个或多个电子元器件芯片相互电连接,然后封装在一个保护结构中,其目的是为电子芯片提供电连接、机械保护、化学腐蚀保护等。对于某些电子产品,例如MEMS器件中的陀螺仪、加速度计、震荡器或体声波滤波器等都对应力非常敏感,需要用陶瓷管壳、金属管壳或预成型塑料管壳等对MEMS芯片进行气密性封装。传统的封装结构为在封装管壳底板上涂抹粘片胶,装入MEMS芯片,将MEMS芯片背面层通过粘片胶固定在封装管壳底板上,这样,MEMS芯片只有背面层通过粘片胶与封装管壳底板接触,MEMS芯片的正面层11不与任何固体接触,所以,封装应力只能从MEMS芯片的背面层引入。对MEMS芯片产生影响的应力主要来源包括两部分,一部分是外部应力通过封装结构传递给MEMS芯片,一部分是封装结构各部分(MEMS芯片、封装管壳、贴片胶和电路板)之间的热膨胀系数不一致引起的。这两种应力均会导致对应力敏感的MEMS结构发生形变,甚至导致MEMS结构粘连、MEMS芯片脱落、或者破裂。MEMS芯片最常用的材料是硅,其热膨胀系数较低,很难找到与之相同的材料,所以封装应力无法避免,在封装管壳选定的情况下,降低封装应力的方法通常有:1、加厚MEMS芯片的背面层,降低通过它传导到MEMS结构的封装应力。但是由于MEMS芯片一般都是采用标准的MEMS圆片材料和设备,而且MEMS芯片体积一般较小,所以MEMS芯片的背面层不能太厚;2、选用质地柔软的粘片胶,装片后胶固化时,应力被释放,有 ...
【技术保护点】
一种MEMS传感器低应力封装管壳,其特征在于,所述封装管壳用于封装MEMS芯片,所述封装管壳底端内部设有孤岛结构和应力隔离槽,其中;孤岛结构,所述孤岛结构位于所述MEMS芯片中心下方,用于支撑所述MEMS芯片;应力隔离槽,所述应力隔离槽位于所述孤岛结构周侧,用于隔离封装管壳形变对MEMS芯片的影响。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器低应力封装管壳,其特征在于,所述封装管壳用于封装MEMS芯片,所述封装管壳底端内部设有孤岛结构和应力隔离槽,其中;孤岛结构,所述孤岛结构位于所述MEMS芯片中心下方,用于支撑所述MEMS芯片;应力隔离槽,所述应力隔离槽位于所述孤岛结构周侧,用于隔离封装管壳形变对MEMS芯片的影响。2.根据权利要求1所述的封装管壳,其特征在于,所述孤岛结构包括点胶孤岛、镂空凹槽和封闭支撑,所述点胶孤岛位于所述镂空凹槽内,所述封闭支撑位于所述镂空凹槽周侧,所述点胶孤岛通过镂空凹槽连接封闭支撑。3.根据权利要求2所述的封装管壳,其特征在于,所述封闭支撑为方形或圆形凸起,所述封闭支撑与所述点胶孤岛高度相同。4.根据权利要求2所述的封装管壳,其特征在于,所述应力隔离槽连接在所述封闭支撑外...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭士超,薛旭,
申请(专利权)人:中国科学院地质与地球物理研究所,
类型:发明
国别省市:北京,11
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