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本发明提供一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统，所述封装管壳底端内部设有孤岛结构和应力隔离槽，所述封装管壳底端设有孤岛结构和应力隔离槽，本发明所述应力隔离槽用于隔离封装管壳形变对MEMS芯片的影响，保证MEMS芯片贴片区域的稳定；点胶...
该专利属于中国科学院地质与地球物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地质与地球物理研究所授权不得商用。

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