微操作探针制造技术

本发明专利技术公开了属于显微镜的零部件范围的涉及适用于光学显微镜和电子显微镜下的微操作工作，同时向被观察体加载力、电、磁信号的一种微操作探针。在真空室外部的机械螺旋传动装置Ｘ／Ｙ调节和Ｚ调节轮通过密封圈和滑动杆密封连接，滑动杆通过密封圈和滑动腔密封连接，滑动腔通过密封圈和真空室连接；在滑动杆的前端头和串联连接的Ｚ向压电陶瓷管、压电陶瓷管连接器、Ｘ／Ｙ向压电陶瓷管及探针、探针连接器连接。本发明专利技术同时解决信号传输、真空密封、操作运动、机械稳定性问题。实现四自由度上对微小物体的操控，机械部分操作完全手动，精度达微米量级，通过调节加在压电陶瓷管上的电压实现纳米级操作。解决了纳米操控与信号施加的不协调的矛盾。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于显微镜的零部件范围，特别涉及适用于光学显微镜和电子显微镜下的微操作工作，同时向被观察体加载力、电、磁信号的一种微操作探针。
技术介绍
利用电子显微镜可以观察到材料的表面形貌，其分辨率达到纳米级，在研究材料表面形貌的同时，关心纳米材料的力学性能、电学性能等，进行这些性能的测试是研究探索的目标。在文献“压电与声光Vol24 No03”的“压电陶瓷管驱动三自由度微操作手的研究与应用”中报导，一般操控探针在大气下操作只有三个自由度；在CN1418761“面向生物医学工程的微操作机械人系统”和CN1409186“操作杆”中报导，用机械方法精度达到微米量级，操控范围可达毫米—厘米量级范围，或者在CN1562729“宏/微双重驱动的微小机器人移动平台”中报导，其操作精度达到纳米级，但只有两个自由度。在文献“Three-dimensional manipulation of carbonnanotubes under a scanning electron microscope Nanotechnology 10(1999)244-252”和“Measuring physical 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微操作探针，其特征在于：在真空室外部的机械螺旋传动装置Ｘ／Ｙ调节（３）和Ｚ调节轮（４）通过密封圈（１３）、调节垫（６）和滑动杆（２）密封连接，滑动杆（２）通过密封圈（１１）和滑动腔（１）密封连接，滑动腔（１）通过其大圆盘上的密封圈（１２）直接和真空室连接；密封插头（１５）通过密封圈（１６）和Ｚ调节轮（４）的端口封（５）密封连接；在滑动杆（２）的前端头和串联连接的Ｚ向压电陶瓷管（７）、压电陶瓷管连接器（１０）、Ｘ／Ｙ向压电陶瓷管（８）及探针连接器（９）连接，探针（１４）固定探针连接器（９）的中央孔内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫允杰，朱静，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]