一种调整组件和机台制造技术

本申请实施例提供了一种调整组件及机台，调整组件可以包括第一移动盘和第二移动盘，第一移动盘和第二移动盘纵向依次设置，第一移动盘具有纵向的第一通孔，第二移动盘具有纵向的第二通孔，第一通孔和第二通孔用于设置同一纵向的插销，第一移动盘可以置于第一方向的导轨上，在第一移动盘沿第一方向移动时，可以带动插销沿第一方向移动，第二移动盘可以置于第二方向的导轨上，在第二移动盘沿第二方向移动时，可以带动插销沿第二方向移动。由于第一移动盘和第二移动盘分别对应第一方向和第二方向的导轨，因此严格沿着第一方向和第二方向移动，第一方向和第二方向上的移动可以独立进行，不会互相干扰，安装时间较短，具有更好的便利性和调整准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种调整组件和机台
本专利技术涉及半导体器件及其制造领域，特别涉及一种调整组件和机台。
技术介绍
目前，可以将晶圆置于机台上，利用机台对晶圆的位置进行调整，这样可以在制程腔体中对晶圆位置进行调节，而不影响腔体内部的生产状态。具体的，机台可以包括旋转式轴承组件(RotationUnit)和巴条(bar)，其中，旋转式轴承组件上可以设置晶圆，可以用于调节晶圆的纵向位置，以及对晶圆进行旋转，具体的，旋转式轴承组件可以通过马达改变自身位置，而巴条可以控制晶圆进行横向平移。通常，巴条可以设置于旋转式轴承组件的下方并与旋转式轴承组件固定，带动旋转式轴承在横向上移动，从而使旋转式轴承组件及其上的晶圆实现横向移动。具体的，旋转式轴承组件和巴条之间可以利用插销连接，巴条上设置不同方向的螺丝，通过螺丝旋转带动插销移动，从而带动旋转式轴承组件以及其上的晶圆平移。然而不同方向的螺丝对插销的移动作用会互相干扰，延长安装所需时间，且对晶圆的调整不够准确。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种调整组件，通过两个独立的移动盘对应两个方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调整组件，其特征在于，包括：第一移动盘和第二移动盘；/n所述第一移动盘和所述第二移动盘纵向依次设置，所述第一移动盘具有纵向贯穿所述第一移动盘的第一通孔，所述第二移动盘具有纵向贯穿所述第二移动盘的第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔用于设置同一纵向的插销；所述第一通孔在所述第二方向上的横向尺寸大于所述插销；所述第二通孔在所述第一方向上的横向尺寸大于所述插销；/n所述第一移动盘置于第一方向的导轨上，在所述第一移动盘沿所述第一方向移动时，带动所述插销沿所述第一方向移动；所述第二移动盘置于第二方向的导轨上，在所述第二移动盘沿所述第二方向移动时，带动所述插销沿所述第二方向移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种调整组件，其特征在于，包括：第一移动盘和第二移动盘；
所述第一移动盘和所述第二移动盘纵向依次设置，所述第一移动盘具有纵向贯穿所述第一移动盘的第一通孔，所述第二移动盘具有纵向贯穿所述第二移动盘的第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔用于设置同一纵向的插销；所述第一通孔在所述第二方向上的横向尺寸大于所述插销；所述第二通孔在所述第一方向上的横向尺寸大于所述插销；
所述第一移动盘置于第一方向的导轨上，在所述第一移动盘沿所述第一方向移动时，带动所述插销沿所述第一方向移动；所述第二移动盘置于第二方向的导轨上，在所述第二移动盘沿所述第二方向移动时，带动所述插销沿所述第二方向移动。


2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述第一方向的导轨设置在第一固定盘上，所述第二方向的导轨设置在第二固定盘上，所述第一固定盘和所述第二固定盘纵向连接。


3.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述第一固定盘上设置有沿所述第一方向的第一移动螺丝，用于在旋进时控制所述第一移动盘沿所述第一方向的移动；所述第二固定盘上设置有沿所述第二方向的第二移动螺丝，用于在旋进时控制所述第二移动盘沿所述第二方向的移动。


4.根据权利要求3所述的组件，其特征在于，所述第一移动螺丝上设置有第一旋钮，所述第一旋钮上设置有刻度，用于体现所述第一移动旋钮的旋转角度；所述第二移动螺丝上设置有第二旋钮，所述第二旋钮上设置有刻度，用于体现所述第二移动旋钮的旋转角度。


5.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述第一固定盘上还设置有沿所述第一方向的第一固定螺丝，用于在旋进后固定所述第一移动盘的位置；所述第二固定盘上还设置有沿所述第二方向的第二固...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈有德，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37