本实用新型专利技术公开了一种吸盘横移机构,包括龙门架、移动装置和定位装置，所述移动装置设置于龙门架上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置，本实用新型专利技术采用齿条齿轮驱动移定装置往复运动，提高了设备的运动精度，本实用新型专利技术设置的两组移动机构共用龙门架、导轨和齿条，提高了资源的利用率，同时两组机构同时运动提高了工作效率，并采用定位装置实现对涉笔的精准定位。
【技术实现步骤摘要】
一种吸盘横移机构
本技术属于光伏领域，涉及一种吸盘横移机构。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现。在加工的过程中，需要在硅片吸取分离过程中进行横移，传统的横移方式工作效率低，精度低，定位不准确，此设备有效地解决了这种问题。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的不足，提供一种吸盘横移机构。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种吸盘横移机构,其特征在于：包括龙门架(100)、移动装置和定位装置，所述移动装置设置于龙门架(100)上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置。进一步的；所述龙门架(100)包括底座(103)，所述底座(103)设置为对称的两组，所述底座(103)上固设有龙门支柱(101)，所述龙门支柱(101)垂直于水平面设置，所述龙门支柱(101)间固设有连接有龙门连柱(105)，所述龙门支柱(101)、底座(103)和龙门连柱(105)形成整体结构，所述龙门连柱(105)上固设有龙门安装板(104)，所述龙门安装板(104)连接移动装置。进一步的；所述移动装置包括固设于龙门安装板(104)上的滑块(111)，所述滑块(111)上滑动设置有滑块安装板(122)，两组所述滑块安装板(122)通过垫片(119)连接，所述滑块安装板(122)连接设置有电机安装板(131)，所述电机安装板(131)固设有传动电机(134)，所述传动电机(134)输出轴上固设有齿轮(132)，龙门安装板(104)固设有与传动电机(134)啮合连接的齿条(114)，所述齿条(114)和滑块(111)长度和龙门安装板(104)长度一致。进一步的；所述移动装置还包括限位装置，所述限位装置包括固设于龙门安装板(104)上侧的拖链托板(124)，所述拖链托板(124)上固设有横移拖链(123)，滑块安装板(122)固设有拖链连接板(120)，所述拖链连接板(120)与横移拖链(123)固设，所述横移拖链(123)移动长度小于龙门安装板(104)长度，限制滑块安装板(122)的移动范围。进一步的；所述定位装置包括位于固设于龙门安装板(104)上的限位块(112)，所述限位块(112)侧面固设有垫圈(115)，所述限位块(112)上固设有原点挡片(116)，滑块安装板(122)与原点挡片(116)相对的位置上固设有感应传感器(126)，所述感应传感器(126)采用感光原理，所述感应传感器(126)包括感应片(125)，两组所述感应片(125)分别设置于原点挡片(116)两侧，且相对设置，所述感应传感器(126)通电后一侧感应片(125)发出光束，另一侧感应片(125)感应光束，当所述感应传感器(126)移动到原点挡片(116)两侧时，感应端接收不到光束信号，通过感应传感器(126)确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上。进一步的；所述横移机构还包括有调整装置，所述调整装置包括固设于滑块安装板(122)下侧顶块腔(130)，所述顶块腔(130)内设置有固设于电机安装板(131)上对的顶块(129)，所述顶块腔(130)下侧设置有固设于滑块安装板(122)上的下调节块(128)，所述下调节块(128)与顶块(129)间连接有调节杆(127)，通过调节顶块(129)与下调节块(128)间的调节杆(127)间距，控制传动电机(134)的高度。进一步的；所述龙门支柱(101)与底座(103)之间固设有对称的肋块(102)，在本实施例中，所述肋块(102)设置为三角形结构，所述肋块(102)加强底座(103)与龙门支柱(101)的连接，同时加强龙门支柱(101)强度；拖链连接板(120)设置为L型结构，拖链连接板(120)的水平与竖直成型面间固设有连接板肋板(121)，所述连接板肋板(121)设置为三角结构，所述连接板肋板(121)加强拖链连接板(120)水平与竖直成型面间的连接，加强拖链连接板(120)水平成型面强度。进一步的；所述龙门安装板(104)中部设置有齿条腔(113)，所述齿条腔(113)两侧固设有滑块腔(110)，所述滑块腔(110)对滑块(111)进行定位，所述齿条腔(113)对齿条(114)进行支撑和定位。进一步的；所述横移机构还包括接油块(117)，所述接油块(117)固设于龙门安装板(104)下侧面，所述接油块(117)内设置有开口朝上的接油槽(150)，所述接油槽(150)用于接收设备的油污。进一步的；所述垫圈(115)设置为软质弹性材料，可进行缓冲且受到压力作用下变形程度小，具有弹性回复能力，所述垫圈(115)材质设置为聚氨酯，垫片(119)设置为软质弹性材料，可进行缓冲且受到压力作用下变形程度小，具有弹性回复能力，材质设置为聚氨酯。综上所述，本技术采用齿条齿轮驱动移定装置往复运动，提高了设备的运动精度，本技术设置的两组移动机构共用龙门架、导轨和齿条，提高了资源的利用率，同时两组机构同时运动提高了工作效率，并采用定位装置实现对涉笔的精准定位。附图说明图1为本技术的装置示意图一。图2为本技术的装置示意图二。图3为本技术的装置示正视图。图4为本技术中横移机构示意图。图5为图4中A的放大示意图。图中标识：龙门架100、龙门支柱101、肋块102、底座103、龙门安装板104、龙门连柱105、滑块腔110、滑块111、限位块112、齿条腔113、齿条114、垫圈115、原点挡片116、接油块117、托板118、垫片119、拖链连接板120、连接板肋板121、滑块安装板122、横移拖链123、拖链托板124、感应片125、感应传感器126、调节杆127、下调节块128、顶块129、顶块腔130、电机安装板131、齿轮132、开腔133、传动电机134、接油槽150。具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本实本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种吸盘横移机构,其特征在于：包括龙门架(100)、移动装置和定位装置，所述移动装置设置于龙门架(100)上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种吸盘横移机构,其特征在于：包括龙门架(100)、移动装置和定位装置，所述移动装置设置于龙门架(100)上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置。
2.根据权利要求1所述的一种吸盘横移机构，其特征在于：所述龙门架(100)包括底座(103)，所述底座(103)设置为对称的两组，所述底座(103)上固设有龙门支柱(101)，所述龙门支柱(101)垂直于水平面设置，所述龙门支柱(101)间固设有连接有龙门连柱(105)，所述龙门支柱(101)、底座(103)和龙门连柱(105)形成整体结构，所述龙门连柱(105)上固设有龙门安装板(104)，所述龙门安装板(104)连接移动装置。
3.根据权利要求1所述的一种吸盘横移机构，其特征在于：所述移动装置包括固设于龙门安装板(104)上的滑块(111)，所述滑块(111)上滑动设置有滑块安装板(122)，两组所述滑块安装板(122)通过垫片(119)连接，所述滑块安装板(122)连接设置有电机安装板(131)，所述电机安装板(131)固设有传动电机(134)，所述传动电机(134)输出轴上固设有齿轮(132)，龙门安装板(104)固设有与传动电机(134)啮合连接的齿条(114)，所述齿条(114)和滑块(111)长度和龙门安装板(104)长度一致。
4.根据权利要求1所述的一种吸盘横移机构，其特征在于：所述移动装置还包括限位装置，所述限位装置包括固设于龙门安装板(104)上侧的拖链托板(124)，所述拖链托板(124)上固设有横移拖链(123)，滑块安装板(122)固设有拖链连接板(120)，所述拖链连接板(120)与横移拖链(123)固设，所述横移拖链(123)移动长度小于龙门安装板(104)长度，限制滑块安装板(122)的移动范围。
5.根据权利要求1所述的一种吸盘横移机构，其特征在于：所述定位装置包括位于固设于龙门安装板(104)上的限位块(112)，所述限位块(112)侧面固设有垫圈(115)，所述限位块(112)上固设有原点挡片(116)，滑块安装板(122)与原点挡片(116)相对的位置上固设有感应传感器(126)，所述感应传感器(126)采用感光原理，所述感应传感器(126)包括感应片(125)，两组所述感应片(125)分别设置于原点挡片(116)两侧，且相对设置，所述感应传感器(126)通电后...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁治祥，李亚康，强嘉杰，朱斌，
申请(专利权)人：无锡小强半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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