一种用于晶圆检测的移动载台机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆的承托盘及固定座，承托盘的底部设有支撑柱，承托盘的左右两侧设有承托块，承托块的底部与升降驱动器连接，升降驱动器驱动承托块升降，承托块至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆的承托槽，承托槽为与承托盘具有相同圆心的扇环形，承托盘的前后两侧设有推压块，推压块与推压气缸连接，推压气缸驱动推压块靠近或远离晶圆，支撑柱、升降驱动器及推压气缸设于固定座上，本实用新型专利技术适用性强的，可对晶圆进行定位放置，防止其偏移。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆检测的移动载台机构
本技术涉及晶圆生产设备领域，特别涉及一种用于晶圆检测的移动在台机构。
技术介绍
在晶圆的生产过程中，需要对晶圆进行检测，这时需要对晶圆进行移动输送，输送过程中需要将晶圆放置在载台上，现有的载台一般只适用于一种尺寸规格的晶圆，适用性不足，同时晶圆的移动过程中，容易受到振动发生偏移。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种适用性强的，可对晶圆进行定位放置的，防止晶圆偏移的用于晶圆检测的移动载台机构。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆的承托盘及固定座，所述承托盘的底部设有支撑柱，承托盘的左右两侧设有承托块，所述承托块的底部与升降驱动器连接，所述升降驱动器驱动承托块升降，承托块至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆的承托槽，所述承托槽为与承托盘具有相同圆心的扇环形，承托盘的前后两侧设有推压块，所述推压块与推压气缸连接，所述推压气缸驱动推压块靠近或远离晶圆，所述支撑柱、升降驱动器及推压气缸设于所述固定座上。本技术的进一步改进，所述承托盘中部设有安装孔，所述安装孔内设有提升块，所述固定座内设有提升气缸，所述提升气缸的伸缩杆穿过所述支撑柱与所述提升块固定连接，提升气缸驱动提升块升降。本技术的进一步改进，还包括移动装置，所述固定座与所述移动装置固定连接，移动装置驱动固定座沿自身XYZ轴移动。本技术的进一步改进，所述承托槽包括与八寸晶圆配合的第一承托槽及与十二寸晶圆配合的第二承托槽，所述第二承托槽设于所述第一承托槽的下方。本技术的进一步改进，所述推压块与晶圆的接触端面为与所述承托盘具有相同圆心的圆弧面，所述圆弧面设有软垫。本技术的进一步改进，所述推压块的顶部设有用于防止晶圆跳动的防护块，所述防护快设于所述承托盘的上方。本技术的进一步改进，所述承托盘设有通孔，所述通孔的下方设有用于检测所述承托盘上是否放置有晶圆的光电传感器。采用上述技术方案，承托盘与承托块配合可对晶圆进行定位放置，承托块设有不同尺寸规格的承托槽，可满足不同尺寸晶圆的需求，适用性强，推压块的设置可对晶圆进行固定，防止在载台移动过程中晶圆发生偏移。附图说明图1为本技术的结构俯视示意图；图2为本技术的结构前视示意图；图中标示：1、晶圆；2、承托盘；3、固定座；4、支撑柱；5、承托块；6、升降驱动器；7、推压块；8、推压气缸；9、提升块；10、提升气缸；11、防护块；12、承托槽；13、第一承托槽；14、第二承托槽；15、软垫；16、通孔；17、光电传感器。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。如图1-2所示，一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆1的承托盘2及固定座3，承托盘2的底部设有支撑柱4，承托盘2通过支撑柱4设于固定座3上，承托盘2的左右两侧设有承托块5，承托块5与承托盘2配合放置晶圆1，承托块5的底部与升降驱动器6连接，升降驱动器6可为气缸或电动推杆，升降驱动器6用于驱动承托块5升降，承托块5至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆1的承托槽12，承托槽12为与承托盘2具有相同圆心的扇环形，承托块5升降移动使得不同尺寸的承托槽12的底面与承托盘2的顶面持平，承托槽12与承托块5配合对晶圆1进行定位放置，本实施例中，承托槽12包括与八寸晶圆配合的第一承托槽13及与十二寸晶圆配合的第二承托槽14，第二承托槽14设于第一承托槽13的下方，八寸与十二寸是晶圆1较为常用的尺寸，可满足常见规格的晶圆1的放置，承托盘2的前后两侧设有推压块7，推压块7与推压气缸8连接，推压气缸8驱动推压块7靠近或远离晶圆1，当晶圆1放置完成后，推压气缸8趋势推压块7靠近晶圆1，使得推压块7推压晶圆1，使得其在载台移动过程中不会发生偏置，推压块7与晶圆1的接触端面为与承托盘2具有相同圆心的圆弧面，确保推压块7与晶圆1的接触配合度，圆弧面设有软垫15，避免晶圆1与推压块7刚性接触发生磨损，压块的顶部设有用于防止晶圆1跳动的防护块11，防护快设于承托盘2的上方，防止晶圆1在载台移动过程中因振动跳起，支撑柱4、升降驱动器6及推压气缸8设于固定座3上，然后将固定座3与移动装置固定连接，移动装置为可XYZ三轴导轨移动的机械手，移动装置驱动固定座3沿自身XYZ轴移动，实现晶圆1的装在移动。承托盘2中部设有安装孔，安装孔内设有提升块9，固定座3内设有提升气缸10，提升气缸10的伸缩杆穿过支撑柱4与所述提升块9固定连接，提升气缸10驱动提升块9升降，提升块9上升可将晶圆1提升起，便于夹具夹紧晶圆1，避免晶圆1从载台卸装，承托盘2设有通孔16，通孔16的下方设有用于检测所述承托盘2上是否放置有晶圆1的光电传感器17，确保相关部件在有晶圆1的情况下才工作。以上结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但本技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本技术原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆(1)的承托盘(2)及固定座(3)，其特征在于：所述承托盘(2)的底部设有支撑柱(4)，承托盘(2)的左右两侧设有承托块(5)，所述承托块(5)的底部与升降驱动器(6)连接，所述升降驱动器(6)驱动承托块(5)升降，承托块(5)至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆(1)的承托槽(12)，所述承托槽(12)为与承托盘(2)具有相同圆心的扇环形，承托盘(2)的前后两侧设有推压块(7)，所述推压块(7)与推压气缸(8)连接，所述推压气缸(8)驱动推压块(7)靠近或远离晶圆(1)，所述支撑柱(4)、升降驱动器(6)及推压气缸(8)设于所述固定座(3)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆(1)的承托盘(2)及固定座(3)，其特征在于：所述承托盘(2)的底部设有支撑柱(4)，承托盘(2)的左右两侧设有承托块(5)，所述承托块(5)的底部与升降驱动器(6)连接，所述升降驱动器(6)驱动承托块(5)升降，承托块(5)至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆(1)的承托槽(12)，所述承托槽(12)为与承托盘(2)具有相同圆心的扇环形，承托盘(2)的前后两侧设有推压块(7)，所述推压块(7)与推压气缸(8)连接，所述推压气缸(8)驱动推压块(7)靠近或远离晶圆(1)，所述支撑柱(4)、升降驱动器(6)及推压气缸(8)设于所述固定座(3)上。


2.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述承托盘(2)中部设有安装孔，所述安装孔内设有提升块(9)，所述固定座(3)内设有提升气缸(10)，所述提升气缸(10)的伸缩杆穿过所述支撑柱(4)与所述提升块(9)固定连接，提升气缸(10)驱动提升块(9)升降。


3.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫景钊，叶纬，莫景新，
申请(专利权)人：广东唯是晶圆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44