一种碳化硅晶圆生产输送机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件，所述行走组件的表面设有开口向上的容纳仓，所述容纳仓包括设置在行走组件表面的固定挡片，所述行走组件的表面安装有圆形的旋转盘，所述旋转盘上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔，所述固定挡片的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，所述导轨上安装有活动挡片。本实用新型专利技术公开的碳化硅晶圆生产输送机构，有效对转运的晶圆片得到有效的防护，操作人员能够方便起卸晶圆片。操作人员能够方便起卸晶圆片。操作人员能够方便起卸晶圆片。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶圆生产输送机构


[0001]本技术涉及晶圆生产设备，特别涉及一种碳化硅晶圆生产输送机构。

技术介绍

[0002]碳化硅晶圆生产过程中需要把上个工序的碳化硅晶圆转运到下一个车间进行继续生产，晶圆转运过程中需要对晶圆片进行必要的独立防护，以及要考虑到下个工序需要人手方便作业把晶圆取出放到机器上进行下一步的加工。针对上述的需求，有必要提出新的技术方案。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种碳化硅晶圆生产输送机构，有效对转运的晶圆片得到有效的防护，操作人员能够方便起卸晶圆片。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：
[0005]一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件，所述行走组件的表面设有开口向上的容纳仓，所述容纳仓包括设置在行走组件表面的固定挡片，所述行走组件的表面安装有圆形的旋转盘，所述旋转盘上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔，所述固定挡片的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，所述导轨上安装有活动挡片。
[0006]进一步地，所述行走组件的两端延伸安装有推拉扶手，所述推拉扶手的横向扶手处设有防静电护垫。
[0007]进一步地，所述晶圆放置间隔内覆盖有软胶层。
[0008]进一步地，所述行走组件包括底板及安装在底板底部的驱动轮，所述驱动轮上安装有安全卡扣。
[0009]进一步地，所述底板的两端分别安装有用于牵引前后输送机构的牵引组件。
[0010]进一步地，所述底板的上的转角处安装有呈圆角的透明护块，所述透明护块内安装有LED发光源。
[0011]采用上述技术方案，该输送机构的行走组件上的容纳仓上的旋转盘设置的独立晶圆放置间隔，操作人员从上一个工序通过移除活动挡片，把上一个工序的晶圆片放置到晶圆放置间隔中，再把活动挡片重新装上，操作人员推动该装置到下一个工序，首先移除活动挡片，再卸下晶圆，由于晶圆片独立放置在晶圆的间隔，晶圆在转运及装卸过程中得到有效保护，此外，该运输机构由固定挡片配合活动挡片装配，操作人员运输过程中防止外界异物接触到运输的晶圆，当活动挡片被移除时，方便操作人员无阻挡装卸晶圆片，还有旋转盘安装在行走组件内，操作人员可以转动旋转盘把晶圆片装卸到合适的晶圆放置间隔上。
附图说明
[0012]图1为本技术的侧视图；
[0013]图2为本技术的俯视图。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0015]如图1-2所示，本技术公开了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件1，行走组件1的表面设有开口向上的容纳仓2，容纳仓2包括设置在行走组件1表面的固定挡片3，行走组件1的表面安装有圆形的旋转盘4，旋转盘4上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔5，固定挡片3的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，导轨上安装有活动挡片6。该输送机构的行走组件1上的容纳仓2上的旋转盘4设置的独立晶圆放置间隔5，操作人员从上一个工序通过移除活动挡片6，把上一个工序的晶圆片放置到晶圆放置间隔5中，再把活动挡片6重新装上，操作人员推动该装置到下一个工序，首先移除活动挡片6，再卸下晶圆，由于晶圆片独立放置在晶圆的间隔，晶圆在转运及装卸过程中得到有效保护，此外，该运输机构由固定挡片3配合活动挡片6装配，操作人员运输过程中防止外界异物接触到运输的晶圆，当活动挡片6被移除时，方便操作人员无阻挡装卸晶圆片，还有旋转盘4安装在行走组件1内，操作人员可以转动旋转盘4把晶圆片装卸到合适的晶圆放置间隔5上。
[0016]行走组件1的两端延伸安装有推拉扶手7，推拉扶手7的横向扶手处设有防静电护垫8，防止操作人员接触到金属扶手推动产生静电。
[0017]晶圆放置间隔5内覆盖有软胶层9，进一步对晶圆片在放置间隔内得到有效防护。
[0018]行走组件1包括底板10及安装在底板10底部的驱动轮11，驱动轮11上安装有安全卡扣，行走组件能够通过安全卡扣制动及松开驱动轮。
[0019]底板10的两端分别安装有用于牵引前后输送机构的牵引组件12，能够前后连接生产输送机构，使晶圆片能够较大规模被运输。
[0020]底板10的上的转角处安装有呈圆角的透明护块13，透明护块13内安装有LED发光源14，使该生产输送机构行走过程中能够有提示光源现时该运输装置的外轮廓免受外界碰撞。
[0021]以上结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但本技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本技术原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件(1)，其特征在于：所述行走组件(1)的表面设有开口向上的容纳仓(2)，所述容纳仓(2)包括设置在行走组件(1)表面的固定挡片(3)，所述行走组件(1)的表面安装有圆形的旋转盘(4)，所述旋转盘(4)上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔(5)，所述固定挡片(3)的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，所述导轨上安装有活动挡片(6)。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆生产输送机构，其特征在于：所述行走组件(1)的两端延伸安装有推拉扶手(7)，所述推拉扶手(7)的横向扶手处设有防静电护垫(8)。3.根据权利要求1所述的碳...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫景钊，叶纬，莫景新，
申请(专利权)人：广东唯是晶圆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：