一种用于晶圆生产的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆生产的固定装置，包括底架、导轨、固定立臂、调节组件、固定组件和安装定位孔，所述底架的顶部端面中央固定安装有导轨，所述导轨的顶部端面上方设置有固定立臂，所述固定立臂的顶部端面一侧设置有调节组件，且调节组件的外部一侧设置有固定组件，所述底架的端面四周均开设有安装定位孔；所述导轨的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂的底部与滑块固定连接；所述横梁架固定安装在固定立臂的一侧端面顶部位置处；该用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性；同时，能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产的固定装置
本技术涉及晶圆生产设备领域，具体为一种用于晶圆生产的固定装置。
技术介绍
晶圆,也叫基片,是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底；在晶圆生产的过程中，需要使用到晶圆瑕疵检测机；该设备由EFEN、晶圆载台、显微镜组、除震平台、机架A及机架B，共6部份组成；由人工将装有晶圆的CASETTE放入EFEN，先经由ROBOT从CASETTE取出单片晶圆后摆放至晶圆载台，接着晶圆载台会移动至显微镜组工作区，进行晶圆瑕疵检测及记录；待检测及记录完成后，晶圆载台会再将晶圆移动回到ROBOT位置，ROBOT收回晶圆并交还至CASETTE的动作流程；晶圆瑕疵检测机在工作时会使用到晶圆固定装置；现有技术中的固定装置，固定不牢固，晶圆容易发生脱落，而且，在调节晶圆的位置时，调节不便，因此，设计一种用于晶圆生产的固定装置是很有必要的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性；同时，能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，包括底架(1)、导轨(2)、固定立臂(3)、调节组件(4)、固定组件(5)和安装定位孔(6)，所述底架(1)的顶部端面中央固定安装有导轨(2)，所述导轨(2)的顶部端面上方设置有固定立臂(3)，所述固定立臂(3)的顶部端面一侧设置有调节组件(4)，且调节组件(4)的外部一侧设置有固定组件(5)，所述底架(1)的端面四周均开设有安装定位孔(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，包括底架(1)、导轨(2)、固定立臂(3)、调节组件(4)、固定组件(5)和安装定位孔(6)，所述底架(1)的顶部端面中央固定安装有导轨(2)，所述导轨(2)的顶部端面上方设置有固定立臂(3)，所述固定立臂(3)的顶部端面一侧设置有调节组件(4)，且调节组件(4)的外部一侧设置有固定组件(5)，所述底架(1)的端面四周均开设有安装定位孔(6)。


2.根据权利要求1所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述导轨(2)的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂(3)的底部与滑块固定连接。


3.根据权利要求1所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述调节组件(4)包括横梁架(41)、第一调节气缸(42)、调节连杆(43)、翻转轴(44)、翻转架(45)、翻转马达(46)、调节块(47)、旋转台(48)、调节背板(49)、升降架(410)、第二调节气缸(411)和承重壁板(412)，所述横梁架(41)固定安装在固定立臂(3)的一侧端面顶部位置处，所述横梁架(41)的一端固定安装有第一调节气缸(42)，所述横梁架(41)的内部滑动安装有调节块(47)，所述调节块(47)的一侧端面中央固定安装有调节连杆(43)，且调节连杆(43)的另一端固定安装有翻转马达(46)，所述翻转马达(46)的一端安装有翻转轴(44)，所述翻转马达(46)的一侧设置有翻转架(45)，且翻转轴(44)的一端与两个翻转架(45)固定连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫景钊，叶纬，莫景新，
申请(专利权)人：广东唯是晶圆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44