温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件，所述行走组件的表面设有开口向上的容纳仓，所述容纳仓包括设置在行走组件表面的固定挡片，所述行走组件的表面安装有圆形的旋转盘，所述旋转盘上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔，所述固...
该专利属于广东唯是晶圆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东唯是晶圆科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。