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本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆的承托盘及固定座，承托盘的底部设有支撑柱，承托盘的左右两侧设有承托块，承托块的底部与升降驱动器连接，升降驱动器驱动承托块升降，承托块至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆的承托槽，承...
该专利属于广东唯是晶圆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东唯是晶圆科技有限公司授权不得商用。

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