一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统，属于硅片输送设备技术领域。本实用新型专利技术的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。

A device for pushing and aligning a silicon wafer carrier and a carrier conveying system

【技术实现步骤摘要】
一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统
本技术涉及硅片输送设备
，更具体地说，涉及一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统。
技术介绍
在太阳能电池生产过程中，常通过运输载板在各工序之间实现硅片的输送。当空载板进入上料工位后，上料装置将工位内成组的硅片同时进行真空吸附，然后载有硅片的真空吸盘在机械臂的驱动下移动至运输载板内硅片载盘的上方，最后将硅片放入载盘后对真空吸盘进行真空破坏并完成硅片的上料，上料完成后的载板继续输送。其中，由于运输轨道与载板间配合的限制，载板进入上料工位时不一定处于正位，从而不能确保硅片准确地进入载盘内。技术创造名称为一种硅片的定位输送装置(申请号为2018116185792)的中国专利文件提供了一种解决方案，该方案的定位输送装置包括机架，机架顶部设置有传送链板，传送链板顶部设置有两条平行的X轴导轨，X轴导轨顶部通过电动滑块安装有两条平行的Y轴导轨，Y轴导轨顶部通过电动滑块安装有硅片定位板，硅片定位板顶部设置有若干定位吸盘，硅片定位板顶部中心位置设置有正位吸盘，正位吸盘底部连接有竖直升降柱，竖直升降柱底端安装有转位马达，转位马达固定设置在硅片定位板内。然而，对于非固定载具式的硅片载板，硅片载板间的尺寸存在差异，且载具与载板间，以及载具与载具间均存在活动间隙，因而即使已经对载板进行定位调整，机械臂按照预设程序直接将硅片放入载具中时，硅片相对于载具的位置也不一定准确，进而使得硅片的边沿容易与载具或载板发生接触和磕碰，导致硅片发生损坏。
技术实现思路
1.技术要解决的技术问题本技术的目的在于克服现有技术中硅片上料过程中其相对于载板内载具不能准确定位的不足，提供一种硅片载盘推齐定位装置。本方案通过载板推齐单元对载板进行推齐操作，并通过载盘定位单元对载盘进行推齐和定位操作，使得载板内的载盘均处于上料位正位，从而防止硅片在上料的过程中其边沿与载盘发生接触或磕碰而发生损坏。本分明的另一个目的在于提供一种硅片载板输送系统，利用本技术的输送系统对硅片进行输送，其上料效率和输送效率较高，所输送的硅片不易发生损坏。2.技术方案为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：本技术的一种硅片载盘推齐定位装置，其包括，载板推齐单元，载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；输送轨用于沿第一方向输送载板，阻挡机构具有阻挡件，载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；以及，载盘定位单元，载盘定位单元包括载盘推齐机构、载盘定位机构和安装架，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件；硅片载盘推齐定位装置被配置为：阻挡件阻挡载板停下，第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将载板推齐，升降机构驱使输送轨沿第三方向运动以使载板支撑在安装架上；之后，第二驱动件驱使第二推齐件移动以将载盘推齐，载盘定位机构调整载盘相对于输送轨的角度和位置。进一步地，输送轨包括平行设置的第一轨道和第二轨道，载板推齐机构设置在第一轨道上，第一推齐件的自由端朝向第二轨道设置。进一步地，载板推齐机构至少设置有两个，至少两个载板推齐机构中的至少一个位于第一轨道上靠近前端的位置，至少两个载板推齐机构中的至少一个位于第一轨道上靠近后端的位置；和/或，阻挡机构设置为两个，两个阻挡机构分别设置在第一轨道和第二轨道上。进一步地，阻挡件具有阻挡部，阻挡件由第三驱动件驱动以使阻挡部旋转至阻挡位；或者，阻挡件的阻挡部连接在第三驱动件的运动端上，阻挡部由第三驱动件驱动以伸长至阻挡位。进一步地，载盘推齐机构还包括第四驱动件，第四驱动件用于驱使第二推齐件沿第三方向运动。进一步地，载盘定位机构包括二维移动平台和旋转平台，二维移动平台用于调整载盘推齐机构相对于输送轨在第一方向和第二方向上的位置，旋转平台用于调整载盘推齐机构相对于输送轨的角度；或者，载盘定位机构为高精度回转定位平台。进一步地，载盘推齐机构设置有多个，多个载盘推齐机构沿第一方向排列。进一步地，输送轨上方设置有多个拍摄相机，多个拍摄相机用于采集载盘的位置信息和角度信息。本技术的一种硅片载板输送系统，包括上料装置和载盘推齐定位装置，载盘推齐定位装置为上述的载盘推齐定位装置，上料装置的上料机构能够沿第二方向将硅片输送至上料位。3.有益效果采用本技术提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：(1)本技术的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。(2)本技术中，所输送的载板具有多个并列设置的载具，每个载具上相应的阵列设有多个载盘，载盘推齐机构可以设置有多个，且载盘推齐机构与载具一一对应，因而对载盘进行推齐时实际为将多个载盘中的一个载盘进行推齐，然后找出该载盘与上料位之间的偏差，最后通过调整载板的方式，对所有的载盘进行整体的定位操作，简化了载具的定位过程，同时载具的定位效果较好，硅片在上料过程中不易发生损坏。(3)本技术的硅片载板输送系统，包括载盘推齐定位装置和上料装置，载盘推齐定位装置能够将载板上的载具进行推齐和定位，上料装置的上料机构能够沿第二方向将硅片输送至上料位，从而使得硅片能够准确放入载盘中，本技术的硅片载板输送系统的上料效率和输送效率较高，所输送的硅片不易发生损坏。附图说明图1为本技术中载板推齐单元的结构示意图；图2为本技术中载盘定位单元的结构示意图；图3为本技术的硅片载板输送系统结构示意图；图4为本技术的硅片载板输送系统俯视结构示意图。示意图中的标号说明：100、上料装置；110、上料机构；111、真空吸盘；120、滑轨；130、支架；140、拍摄相机；200、载板推齐单元；210、输送轨；211、输送轮；212、限位件；220、升降机构；230、阻挡机构；240、载板推齐机构；300、载盘定位单元；310、载盘推齐机构；320、载盘定位机构；330、安装架；400、载板；410、载具；420、载盘；500、硅片。具体实施方式为进一步了解本技术的内容，结合附图和实施例对本技术作详细描述。本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：包括，/n载板推齐单元(200)，所述载板推齐单元(200)包括输送轨(210)和升降机构(220)，所述输送轨(210)上设置有阻挡机构(230)和载板推齐机构(240)；所述输送轨(210)用于沿第一方向输送载板(400)，所述阻挡机构(230)具有阻挡件，所述载板推齐机构(240)包括第一驱动件和第一推齐件；以及，/n载盘定位单元(300)，所述载盘定位单元(300)包括载盘推齐机构(310)、载盘定位机构(320)和安装架(330)，所述载盘推齐机构(310)包括第二驱动件和第二推齐件；/n所述硅片载盘推齐定位装置被配置为：所述阻挡件阻挡载板(400)停下，所述第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将所述载板(400)推齐，所述升降机构(220)驱使所述输送轨(210)沿第三方向运动以使所述载板(400)支撑在所述安装架(330)上；之后，所述第二驱动件驱使第二推齐件移动以将所述载盘(420)推齐，所述载盘定位机构(320)调整载盘(420)相对于输送轨(210)的角度和位置。/n

【技术特征摘要】
20200311 CN 20201016584471.一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：包括，
载板推齐单元(200)，所述载板推齐单元(200)包括输送轨(210)和升降机构(220)，所述输送轨(210)上设置有阻挡机构(230)和载板推齐机构(240)；所述输送轨(210)用于沿第一方向输送载板(400)，所述阻挡机构(230)具有阻挡件，所述载板推齐机构(240)包括第一驱动件和第一推齐件；以及，
载盘定位单元(300)，所述载盘定位单元(300)包括载盘推齐机构(310)、载盘定位机构(320)和安装架(330)，所述载盘推齐机构(310)包括第二驱动件和第二推齐件；
所述硅片载盘推齐定位装置被配置为：所述阻挡件阻挡载板(400)停下，所述第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将所述载板(400)推齐，所述升降机构(220)驱使所述输送轨(210)沿第三方向运动以使所述载板(400)支撑在所述安装架(330)上；之后，所述第二驱动件驱使第二推齐件移动以将所述载盘(420)推齐，所述载盘定位机构(320)调整载盘(420)相对于输送轨(210)的角度和位置。


2.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述输送轨(210)包括平行设置的第一轨道和第二轨道；所述载板推齐机构(240)设置在第一轨道上，所述第一推齐件的自由端朝向第二轨道设置。


3.根据权利要求2所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述载板推齐机构(240)至少设置有两个，至少两个所述载板推齐机构(240)中的至少一个位于第一轨道上靠近前端的位置，至少两个所述载板推齐机构(240)中的至少一个位于第一轨道上靠近后端的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：李新丰，连建军，董平博，王彦齐，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32