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本实用新型公开了一种硅片载盘推齐定位装置及载板输送系统，属于硅片输送设备技术领域。本实用新型的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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