静电测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种根据要测定的对象和用途而轻易地构成最佳的测定系统的静电测定装置。经由放大器部（３、３’），而以能够结合及分离的方式构成表面电位传感器（２７）与位移传感器（３６），而且，在结合了多个表面电位传感器（２７、２７…）的状态下，能够将由位移传感器（３６）来测定的距离的数据传送到多个表面电位传感器（２７、２７…）中，并且，各表面电位传感器（２７、２７）基于该距离的数据，对所测定的电位进行修正而算出对象物的表面电位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种非接触性地测定对象物的表面电位的静电测定装置以及利用于该静电测定装置的表面电位传感器。
技术介绍
以往，存在非接触性地测定绝缘物表面所带静电的电位的静电测定装置(表面电位测定器)(例如，参照专利文献1)。这种静电测定装置是如下的装置利用因静电感应而在与对象物相对向配置的传感器电极上产生与对象物的表面电位相对应的电平的电位这一现象，来检测出该传感器电极的电位电平，从而测定对象物的表面电位。专利文献1JP特开平8-129043号公报在上述传感器电极上所产生的电位电平不仅依赖于对象物的表面电位，而且也依赖于从对象物的距离，因此，即使表面电位相同而若距离不同，则在传感器电极上所产生的电位电平也会不同。因此，在上述专利文献1中，将包括上述传感器电极的电位测定用传感器部与测距用传感器部，装入同一筐体内而构成传感器单元，并基于由测距用的传感器部来测定的距离，对由电位测定用的传感器部来测定的电位进行距离修正。这样，由于将电位测定用的传感器部与测距用的传感器部被装入同一筐体内而构成传感器单元，所以，当要测定的对象物扩大为面状而用一个传感器单元无法测定时，需要多个传感器单元及处理其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电测定装置，其特征在于，以能够将表面电位传感器与位移传感器结合及分离的方式而构成，其中，该表面电位传感器对与对象物的表面电位相对应的电位进行测定，而该位移传感器对该表面电位传感器与上述对象物之间的距离进行测定，该静电测 定装置具有：修正数据存储部，其存储基于由上述表面电位传感器测定的电位与上述距离之间的关系的修正数据；计算部，其基于由上述位移传感器测定的上述距离以及上述修正数据，对由上述表面电位传感器测定的电位进行修正而计算出上述对象物的表面电位， 上述修正数据存储部设置在上述表面电位传感器中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：德永哲也，大槻秀智，中岛浩贵，细田亨，
申请(专利权)人：修谷鲁电子机器股份有限公司，欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]