气体净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103）、收纳于该密封壳体（101）的内部并将被冷却管（101）冷却的惰性气体送出的涡流鼓风机（102）、将来自涡流鼓风机（102）的惰性气体经由送气部（106）向外部供给的气体流出口（107）。通过在该密封鼓风源（100）的上游侧配置前置过滤器（201），在下游侧依次配置热交换器（300）和HEPA过滤器（202），在防止异物混入和大气侵入的同时进行惰性气体的净化和冷却。

【技术实现步骤摘要】
气体净化装置
本专利技术涉及一种例如有机EL（电致发光）显示器等的制造工序中使用的合适的气体净化装置。
技术介绍
有机EL元件是利用两个电极间的有机材料被电压激发并在再次返回到初始状态时放出光的现象的自然发光型元件。将多个RGB各发光层的有机EL元件被配置成矩阵状而构成有机EL显示器。该有机EL显示器具有功耗低、发热量少且薄而轻的特性。并且，有机EL显示器的画质具有色彩再现性良好、对比度高、动画响应性高和峰值精度高、无视角依赖性等优异的特性。有机EL显示器的有机材料具有接触水或氧气时容易劣化的特性。于是，在有机EL显示器的制造时，在真空下或者氮气或氩气等惰性气体的环境下，通过真空蒸镀，在基板上使RGB各发光层等的金属电极材料成膜，并且在不接触大气的状态下进行玻璃的粘着、密封等。另外，在惰性气体的环境下制造有机EL显示器时，有时利用罩体覆盖长生产线的整体并且在该罩体的内部填充惰性气体。然而，有时惰性气体被在制造工序中产生的尘埃或者微小片（以下简称为异物）污染，从而通常利用气体净化装置对所述罩体内的惰性气体进行清洁以除去异物。在此，作为有机EL显示器制造有关的现有技术，例如公知有专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体净化装置，其特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：密封壳体，具有从外部被隔开的内部空间；气体导入部，将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间；鼓风机，收纳于所述密封壳体内，将从所述内部空间吸入的所述气体送出；冷却机构，以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置，冷却所述内部空间；气体导出部，将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出。

【技术特征摘要】
2012.10.02 JP 2012-220162;2013.04.18 JP 2013-087381.一种气体净化装置，其特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：密封壳体，具有从外部被隔开的内部空间；气体导入部，将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间；鼓风机，收纳于所述密封壳体内，将从所述内部空间吸入的所述气体送出；冷却机构，以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置，并冷却从所述气体导入部向所述内部空间导入的所述气体；气体导出部，将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出，在所述密封鼓风源中，所述气体导入部包括使从外部供给到的气体流入的气体流入口和配置于该气体流入口和所述鼓风机之间且带有使气体向所述内部空间放出的通孔的开放放出部；并且，所述气体导出部包括使由所述鼓风机送出的气体通过的送气部和用于使通过该送气部的气体排出到外部的气体流出口。2.一种气体净化装置，其特征在于，包括密封鼓风源，该密封鼓风源具有：密封壳体，具有从外部被隔开的内部空间；气体导入部，将被过滤器净化的气体导入到所述内部空间；鼓风机，收纳于所述密封壳体内，将从所述内部空间吸入的所述气体送出；冷却机构，以覆盖所述鼓风机的周围的方式配置，并冷却从所述气体导入部向所述内部空间导入的所述气体；气体导出部，将所述鼓风机送出的所述气体向外部导出，在所述密封鼓风...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋渊雄，伊藤孝宏，白根智博，
申请(专利权)人：修谷鲁电子机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP