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本发明提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103）、...该专利属于修谷鲁电子机器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过修谷鲁电子机器股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有：具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103）、...