下载静电测定装置的技术资料

文档序号:2648948

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本发明提供一种根据要测定的对象和用途而轻易地构成最佳的测定系统的静电测定装置。经由放大器部(3、3’),而以能够结合及分离的方式构成表面电位传感器(27)与位移传感器(36),而且,在结合了多个表面电位传感器(27、27…)的状态下,能够将...
该专利属于修谷鲁电子机器股份有限公司;欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过修谷鲁电子机器股份有限公司;欧姆龙株式会社授权不得商用。

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