用于保护不受静电放电伤害的集成器件制造技术

本公开的实施例涉及用于保护不受静电放电伤害的集成器件。第一电源轨作为配置有耦合件的电源树来提供，以将电源电压分配给电路的有源元件。第二电源轨作为静电放电通道来提供，并且没有配置到电路的有源元件的分配树耦合件。第一静电放电电路直接电连接在第二电源轨的一端与接地轨之间。第二静电放电电路直接电连接在互连节点与接地轨之间。互连节点将第二电源轨的另一端电互连到第二静电放电电路处的第一电源轨。

【技术实现步骤摘要】
用于保护不受静电放电伤害的集成器件优先权要求本申请要求于2019年5月22日提交的第1905367号法国专利申请的优先权，其内容在法律允许的最大范围内作为整体引用而被并入本文。
实施例涉及集成电路，并且具体涉及集成电路中用于保护不受静电放电伤害的器件。
技术介绍
用于集成电路静电放电(ESD)保护的电路系统受到在电路内部的大电流(通常为几安培)的影响。这些大电流必须经由特定的通路在接收放电的端子之间流动通过芯片的内部。作为一般规则，这些路径包括连接到电源轨的专用保护部件，被配置为限幅静电放电，放电电流将流动通过该路径。在集成电路互连层(BEOL，用于线路后端)中，电源轨通常由金属轨道构成，并将电源电压和参考电压分配给集成电路上各个点的有源部件。通常，有源部件可以连接在电源轨上的任何点上，并且能够在承受规定的被击穿的最大电压。有源部件对电源电压中的过电压特别灵敏。由于欧姆电压降，在静电放电期间，电源轨上的电压等于专用保护部件的端子两端的电压加上放电电流对电源轨电阻的流动而生成的电压。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路，包括：/n第一电源轨，被配置为将供电电压分配给所述集成电路的有源元件；以及/n用于保护不受静电放电伤害的器件，所述器件包括：/n第二电源轨，被配置为在电源引脚与接地引脚之间引导静电放电电流，所述第二电源轨未被连接到所述电路的任何有源元件；以及/n具有输入端子的第一静电放电限幅器件；其中所述第一电源轨在所述第一静电放电限幅器件的所述输入端子上经由所述第二电源轨被连接到所述电源引脚。/n

【技术特征摘要】
20190522 FR 19053671.一种集成电路，包括：
第一电源轨，被配置为将供电电压分配给所述集成电路的有源元件；以及
用于保护不受静电放电伤害的器件，所述器件包括：
第二电源轨，被配置为在电源引脚与接地引脚之间引导静电放电电流，所述第二电源轨未被连接到所述电路的任何有源元件；以及
具有输入端子的第一静电放电限幅器件；其中所述第一电源轨在所述第一静电放电限幅器件的所述输入端子上经由所述第二电源轨被连接到所述电源引脚。


2.根据权利要求1所述的集成电路，其中所述第一静电放电限幅器件还具有直接连接到所述接地端子的参考端子。


3.根据权利要求1所述的集成电路，其中所述第二电源轨连接到所述电源引脚以及连接到所述第一静电放电限幅器件的所述输入端子。


4.根据权利要求1所述的集成电路，还包括接地分配树，所述接地分配树被连接到所述接地引脚，所述接地分配树被配置为将接地电压分配给所述电路的有源元件，其中所述用于保护不受静电放电伤害的器件包括第二静电放电限幅器件，所述第二静电放电限幅器件直接连接到所述电源引脚以及直接连接到所述接地分配树上的点。


5.根据权利要求4所述的集成电路，还包括至少一个输入输出引脚，其中所述用于保护不受静电放电伤害的器件包括至少一个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·塔耶特，
申请(专利权)人：意法半导体鲁塞公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR