用于TFT-LCD测试的微探测器制造技术

在此揭示一种用于测试大面积基板的装置和方法。大面积基板包括显示器的图案和在大面积基板上电性连接到显示器上的接触点。该装置包括相对于大面积基板和／或接触点可移动的探针组件，并配置成可测试各大面积基板上的显示器图案和接触点。探针组件更配置成可测试该大面积基板上的部分区段。该装置更包括有一测试腔室，用以在其内部容积中储存至少两个探针组件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式主要涉及基板的测试系统。更具体地，本专利技术涉及在制造平板显示器时用于大面积基板的集成测试系统。
技术介绍
平板显示器，有时称之为有源矩阵液晶显示器(LCD)，近来已经越来越普遍地成为过去的阴极射线管(CRT)的替代品。与CRT相比，LCD具有若干个优点，包括影像质量高、重量轻、电压需求低和能耗低。这种显示器在计算机监测器、移动电话和电视中具有多种应用。一种类型的有源矩阵LCD包括夹在薄膜晶体管(TFT)阵列基板和滤色片基板之间以形成平板基板的液晶材料。一般来说，TFT基板包括薄膜晶体管的阵列，每一薄膜晶体管都耦接到一像素电极，滤色片基板包括不同颜色的滤色片部分和共享电极。当向像素电极施加一定的电压时，在像素电极和共享电极之间就产生电场，液晶材料会被定向以使光线通过特定像素。使用的基板通常包括较大的表面积，并且有许多独立的平板显示器被形成在此大面积基板上，其随后在最终制造期间从该基板上分离。在制造方法中有一部份会需要测试大面积基板以确定每个平板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于测试大面积基板的探针组件，大面积基板包括一长度与一宽度，所述探针组件包含：　矩形框架，其具有等于或小于该大面积基板的长度的一半的第一尺寸以及等于或大于该大面积基板的宽度的第二尺寸；以及　多个探针针脚，自该框架的下表面延伸 出来并适于接触该大面积基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2006-5-31 60/803,5971.一种适于测试大面积基板的探针组件，大面积基板包括一长度与一宽度，
所述探针组件包含：
矩形框架，其具有等于或小于该大面积基板的长度的一半的第一尺寸以及等
于或大于该大面积基板的宽度的第二尺寸；以及
多个探针针脚，自该框架的下表面延伸出来并适于接触该大面积基板。
2.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含一马达。
3.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含多个接触头，其适于接触
该大面积基板。
4.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含四个边且这四个边中的至
少一个边包括一接触板，该接触板与多个探针针脚相通。
5.如权利要求4所述的探针组件，其中该接触板位于该框架的下表面上。
6.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含四个边且至少两个相对的
边包括至少一个自其中延伸出来的接线片(lug)。
7.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含四个边且至少两个相对的
边包括至少二个自其中延伸出来的接线片。
8.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包含四个边且至少两个相对的
边包括至少一个自其中延伸出来的接线片且剩下的两个边包括至少二个自其中延
伸出来的接线片。
9.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架的宽度是可调整的。
10.如权利要求1所述的探针组件，其中该框架包括至少两个自其下表面延伸
出来的导引针脚(indexing pin)。
11.一种适于测试具有一面积的大面积基板的探针组件，包含：
矩形框架；以及
多个接触头，其耦接至该框架的一段且适于接触该大面积基板，其中该矩形
框架的面积等于或小于该大面积...

【专利技术属性】
技术研发人员：BM约翰斯通，S克里希纳斯瓦米，HT恩古耶，M布鲁纳，刘永，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]