多用式调阻测试探针制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多用式调阻测试探针，包括探针头和基体；其特征在于一绝缘连接体一端与探针头连接，另一端与设置在基体上的高度微调机构的活动端连接；基体底部固定磁块。它通过磁性吸附于探针板上，可相对于探针板活动，具有很高的空间自由度调节性能，能够灵活反复使用，节省了测试不同基片时的探针用量，节约了厂家成本。同时它的高度调节机构有效防止测试针端头接触移动中的基片而被碰坏的情况发生，提高了探针的工作寿命。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种激光调阻用测试探针，具体是一种可有效调节空间 自由度以便于灵活反复使用的多用式调阻测试探针。技术背景在激光调阻的过程中，待刻电阻的测量是决定最后调阻精度的关键要素 之一，其中，测试探针的安置方式尤为重要，而它往往又受测试探针自身结构的约束。以目前普遍采用的刀片式探针为例，其结构主要包括刚性连接的 探针头和刀片本体(基体)；使用方法是先根据待刻电阻在基片上的位置定 位探针板，使其上开孔对应待刻电阻区域；然后把一对对刀片式探针焊接到 探针板上，确保探针头与测试仪器的表针引线连通；最后探针头上的测试针 端头接触到待刻电阻的两个测量端电极，从而实现待刻电阻的测量。 这种探针结构方式存在以下缺点1. 由于探针头与刀片本体刚性连接固定，缺少微动与缓冲，这样在移 动基片的过程中如果探针抬升高度不够常常导致脆弱的测试针端头被碰坏； 使得这类探针的寿命较短。2. 由于测试探针焊死在探针板上，无法相对活动；要对其空间自由度 进行调节，也只能通过测试设备作用于探针板；然而这种间接调节作用毕竟 有限，也缺少精度；况且这样的探针板与其上的测试探针构成的体系往往只 能与一种基片精密对应；如果本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多用式调阻测试探针，包括探针头和基体（１），其特征在于：还包括一绝缘连接体（２），绝缘连接体（２）的一端与探针头连接，另一端与设置在基体（１）上的高度微调机构的活动端连接，基体（１）的底部固定磁块（３）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张学忠，
申请(专利权)人：苏州和普激光设备开发有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]