边沿推进式电阻修刻方法技术

本发明专利技术公开了边沿推进式电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统完成激光产生、定位、移动及阻值监测等过程，其特征在于进刀时控制激光束交替进行下述两个步骤的刻蚀运动：１）以待刻电阻任一原始外边沿曲线的两端为起点和终点，激光束自宽为宽度沿该外边沿曲线轨迹移动刻蚀，轨迹经过处电阻材料被全部刻蚀并产生新的外边沿曲线后，激光束终点滞留或返回起点滞留；２）激光束从前述滞留点开始，推进至新的外边沿曲线，代替步骤１）中的原始外边沿曲线刻蚀。本发明专利技术修刻后的电阻稳定性高、抗电磁干扰能力强，直接对传感器等功能电路模块的贴片电阻二次修刻，来实现增益或零位的自动调节，有效避免阻值突变和人工匹配电阻效率低、精度低的缺点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光调阻方法，具体是片式电阻激光修刻中单纯通过调整激光进刀轨迹来改变工艺效果，提高工艺精度的方法。
技术介绍
目前激光微调技术在以混合电路制造业为主的很多领域得到广泛应用，主要用于调整厚、薄膜电路中的电阻、电容；进行功能微调，即调整某些元件参数，使电路达到总的技术指标。其中最基本的则是对电阻的微调。电阻微调分为薄漠电阻微调和厚膜电阻微调两种。在很多电路中要求这些电阻的阻值十分精确，相对误差要求达到千分之几甚至万分之几。现在制造工艺只能达到5％，甚至更低，所以必须进行电阻微调，使之达到高精度要求。以目前普遍使用的厚膜基片阻值的激光修调为例，由于厚膜丝网印刷操作固有的不准确性，基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性，厚膜电阻常出现正负误差，如果阻值超过标称值将无法修正，但是，一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的大约30％，所以只能通过激光调整达到目标值。激光微调还可用于电路或电子器件的功能微调，如对有源滤波器的带宽、增益和中心频率的微调，对放大器的失调电压微调等。激光微调是把由激光器产生的一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上，使工件待调部分的膜层气化切除以达到规本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种边沿推进式电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统，包括由激光器产生激光束，经光束定位系统扩束聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻固定盘上，通过阻值动态测量系统实时监测输出反馈控制信号给激光修调设定器程序改变Ｑ频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，并自动校正；其特征在于进刀时控制激光束交替进行下述两个步骤的刻蚀运动直至达到电阻设定值而停止：１）以待刻电阻任一原始外边沿曲线的两端为起点和终点，激光束自宽为宽度沿该外边沿曲线轨迹移动刻蚀，轨迹经过处电阻材料被全部刻蚀并产生新的外边沿曲线后，激光束终点滞留或返回起点滞留；２）激光束从前述滞留点开始，推进至新的外边沿曲线，代替步骤１）中的原始外边沿...

【技术特征摘要】
1.一种边沿推进式电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统，包括由激光器产生激光束，经光束定位系统扩束聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻固定盘上，通过阻值动态测量系统实时监测输出反馈控制信号给激光修调设定器程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，并自动校正；其特征在于进刀时控制激光束交替进行下述两个步骤的刻蚀运动直至达到电阻设定值而停止1)以待刻电阻任一原始外边沿曲线的两端为起点和终点，激光束自宽为宽度沿该外边沿曲线轨迹移动刻蚀，轨迹经过处电阻材料被全部刻蚀并产生新的外边沿曲线后，激光束终点滞留或返回起点滞留；2)激光束从前述滞留点开始，推进至新的外边沿曲线，代替步骤1)中的原始外边沿曲线刻蚀。2.根据权利要求1所述的一种边沿推进式电阻修刻方法，其特征在于步骤2)中从前述激光束的滞留点开始，沿该点所在原始外边沿曲线朝向电阻内侧的法线方向向新的外边沿曲线推进。3.根据权利要求1或2所述的一种边沿推进式电阻修刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学忠，
申请(专利权)人：苏州和普激光设备开发有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]