【技术实现步骤摘要】
一种旋转支撑装置及MOCVD系统
本专利技术涉及MOCVD
，尤其涉及一种旋转支撑装置及MOCVD系统。
技术介绍
金属有机物化学气相沉积(MetalOrganicChemicalVaporDeposition，MOCVD)是制备化合物半导体薄膜材料和器件的一种气相外延新技术。反应腔室的温度及温度均匀性影响外延薄膜的晶体质量。由于设计和结构上的差异，反应腔室内加热装置上各点的温度不可能完全一样。由于旋转过程中电源连接的问题，目前的MOCVD腔室温度均匀性是通过电机带动托盘进行旋转的方式达到。现有的托盘旋转结构包括边缘支撑并带动托盘旋转和中心支撑并带动托盘旋转两种方式。边缘支撑并带动托盘旋转结构传递转动使用的部件多，转动惯量大，调节托盘动平衡比较困难，仅限于低速转动的情况。中心支撑并带动托盘旋转的结构使用部件小，转动惯量小，可以进行中高速转动，但是该结构中的垂直驱动连接端须向下穿过托盘下方的加热体，影响加热单元的均匀放置，不利于温度均匀性的控制。对于托盘旋转式的MOCVD系统，如果托盘与连接端未能牢靠固定...
【技术保护点】
1.一种旋转支撑装置，其特征在于：包括旋转平台和固定轴，所述旋转平台包括支撑平板和连接端，所述旋转平台与驱动装置连接，所述连接端的侧壁设有至少一个第一电极，所述固定轴为管状，所述固定轴同轴设置于所述连接端外侧，所述固定轴的内壁设有至少一个环状的第二电极，一个所述第二电极与一个所述第一电极对应，每个所述第二电极与其对应的所述第一电极保持电连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种旋转支撑装置，其特征在于：包括旋转平台和固定轴，所述旋转平台包括支撑平板和连接端，所述旋转平台与驱动装置连接，所述连接端的侧壁设有至少一个第一电极，所述固定轴为管状，所述固定轴同轴设置于所述连接端外侧，所述固定轴的内壁设有至少一个环状的第二电极，一个所述第二电极与一个所述第一电极对应，每个所述第二电极与其对应的所述第一电极保持电连接。
2.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：还包括多个固定件，所述第一电极通过所述固定件与所述连接端绝缘连接，和/或，所述第二电极通过所述固定件与所述固定轴绝缘连接。
3.根据权利要求2所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述固定件包括绝缘件和接头，所述绝缘件固定于所述连接端的侧壁和所述固定轴的内壁上，所述接头固定于所述第一电极和所述第二电极上，且所述接头嵌入所述绝缘件内。
4.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述连接端沿其轴向设有第一走线孔，所述第一走线孔贯通所述支撑平板，所述连接端上还设有与所述第一电极一一对应设置的第二走线孔，所述第二走线孔的一端贯通至所述第一电极，另一端与所述第一走线孔连通。
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【专利技术属性】
技术研发人员：马亮，贾蕾，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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