制作纳米双疏材料的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种制作纳米双疏材料的装置，属于纳米材料领域，包括控制器、二路混气系统、生成器、RF射频电源、真空泵和温控系统，二路混气系统、RF射频电源、真空泵和温控系统均信号连接至控制器，生成器信号连接至温控系统，且生成器均管路连接至真空泵和二路混气系统，二路混气系统上端设置生成器和RF射频电源，且生成器外围套接RF射频电源。本实用新型专利技术所述的制作纳米双疏材料的装置设置磁力旋转装置，在实验过程中通过电机带动磁力旋转装置使待试验物料在生成室内旋转，可以有效的促使物料受热、薄膜分布均匀，减少薄膜气泡，有效提高实验结果。

【技术实现步骤摘要】
制作纳米双疏材料的装置
本技术属于纳米材料领域，尤其是涉及一种制作纳米双疏材料的装置。
技术介绍
当物质到纳米尺度以后，大约是在0.1—100纳米这个范围空间，物质的性能就会发生突变，出现特殊性能。这种既具不同于原来组成的原子、分子，也不同于宏观的物质的特殊性能构成的材料，即为纳米材料。纳米材料、微纳复合材料尤其是具有特殊浸润性(如超疏水性、超双疏性等)的微纳复合材料在人们的日常生活和国民生产各个部门都有着广泛的应用前景,因而也引起科学界的广泛关注。由于固体表面的浸润性决定于其表面的化学组成和表面形貌,因此通过改变固体的表面自由能和表面形貌可以实现对固体材料表面浸润性控制。在日常生活中，使用的消费类电子防水疏油将成为重要性能，在手机等消费电子产品的发展进程中，防水技术得以不断进步和突破，随着防水技术被各大终端厂商所重视，相信未来智能手机等消费电子产品将迎来防水的新热潮，防水技术升级，密封性防水是当前主流方式，防水技术的发展可以分为被动式防水、密封性防水和防水膜及纳米防水三个阶段，其中密封性防水是目前主流的防水方式，通过采用密封胶、防水胶条和橡胶圈等进行密封防水，不同消费电子部件形状的特性和密封性能的不同要求需要用到不同的密封材料，相对而言纳米防水技术仍处于布局阶段，将是未来的发展方向。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，实验机理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。现在实验室制备纳米双疏材料较多的应用PECVD技术生产，小型的PECVD通常因受热、材料分布不均，导致实验结构不精确，而大型的PECVD设备集成均较昂贵，且设备较大，单次实验成本较高，不适用实验室使用。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种制作纳米双疏材料的装置，以改善应用于手机、音响等消费类电子的纳米双疏材料，在实验时物料受热、薄膜分布均匀，减少薄膜气泡，有效提高实验的结果。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种制作纳米双疏材料的装置包括控制器、二路混气系统、生成器、RF射频电源、真空泵和温控系统，生成器包括第一支架、第二支架、磁力架、电机、第一盖板、发生装置外壳、第二盖板和套箍，二路混气系统上端分别设置RF射频电源、第一支架和第二支架，磁力架通过电机固定连接至第一支架一侧，电机一端固定连接至第一盖板的第一端，电机线路连接至第一盖板，发生装置外壳一端固定连接至第一盖板的第二端，另一端通过套箍固定连接至第二盖板，第一盖板信号连接至温控系统，管路连接至二路混气系统，第二盖板管路连接至真空泵，发生装置外壳外围套接RF射频电源，二路混气系统、RF射频电源、真空泵、温控系统均信号连接至控制器，控制器外接电源。进一步的，所述生成器还包括第一胶垫、支撑环、轴承、轴套、物料架、加热管和第二胶垫，轴套一端固定连接至第一盖板，另一端固定连接至加热管，轴套外围依次套接轴承、支撑环和第一胶垫，支撑环一侧设置若干物料架，加热管、轴套、轴承、支撑环和物料架均位于发生装置外壳内部，第一胶垫位于第一盖板与发生装置外壳连接端口之间，第一胶垫、第一盖板和发生装置外壳构成密封装置，第二胶垫位于第二盖板与发生装置外壳连接端口之间，第二胶垫、第二盖板和发生装置外壳构成密封装置。进一步的，所述第一胶垫和第二胶垫材质均为氟橡胶246。进一步的，所述支撑环、轴承和物料架的材质均为陶瓷。进一步的，所述支撑环包括支撑环本体和第二磁铁，轴承外围套接支撑环本体，支撑环本体外围安装第二磁铁，支撑环本体上设有若干通孔，每个物料架通过穿过一个通孔卡接至支撑环本体上。进一步的，所述磁力架包括磁力架本体和第一磁铁，磁力架本体的横截面是V行结构，磁力架本体一端套接至电机，另一端安装第一磁铁。进一步的，所述第一盖板包括第一圆板、螺环、电机座、线路管和第一气管，电机通过电机座固定连接至第一圆板的第一侧，第一圆板的第二侧设置螺环，螺环的横截面是圆环结构，螺环内圈套接轴套，螺环外圈套接发生装置外壳，第一圆板第一侧还设置第一气管和线路管，第一气管管路连接至二路混气系统，线路管信号连接至温控系统。进一步的，所述发生装置外壳包括外壳本体和滑轨，外壳本体两端分别固定连接至第一盖板和第二盖板，外壳本体外围套接滑轨，滑轨横截面是凹槽结构，第一磁铁卡接至滑轨凹槽内。进一步的，所述外壳本体和滑轨的材质均为石英玻璃。进一步的，所述第二盖板包括第二气管、支撑板和第二圆板，第二气管一端通过支撑板固定连接至第二圆板，另一端固定连接至真空泵，支撑板外围卡接至第二支架，第二圆板外围设置外螺纹，第二圆板通过套箍固定连接至外壳本体。相对于现有技术，本技术所述的制作纳米双疏材料的装置具有以下优势：(1)本技术所述的制作纳米双疏材料的装置设置磁力旋转装置，在实验过程中通过电机带动磁力旋转装置使待试验物料在生成室内旋转，可以有效的促使物料受热、薄膜分布均匀，减少薄膜气泡，有效提高实验结果。(2)本技术所述的制作纳米双疏材料的装置的沉积薄膜，适用于手机、音响等消费类电子的应用。(3)本技术所述的制作纳米双疏材料的装置的结构简单，设备单价低，实验效用高，易于推广。(4)本技术所述的制作纳米双疏材料的装置的磁力旋转结构，采用陶瓷制品，再工作过程中不会削减磁场效应，同时陶瓷材料耐腐蚀、受热胀冷缩的影响比钢小，适宜于温度差较高的腐蚀性介质环境下作业，而且陶瓷轴承重量更要轻得多，因此转动时对外圈的离心作用可降低40％，进而使用寿命大大延长。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术制作纳米双疏材料的装置结构示意图；图2为本技术生成器结构示意图；图3为本技术生成器爆炸结构示意图；图4为本技术磁力架结构示意图；图5为本技术第一盖板结构示意图；图6为本技术发生装置外壳结构示意图；图7为本技术第二盖板结构示意图；图8为本技术支撑环、轴承和一个物料架配合的结构示意图。附图标记说明：1-控制器；2-二路混气系统；3-生成器；31-第一支架；32-第二支架；33-磁力架；331-磁力架本体；332-第一磁铁；34-电机；35-第一盖板；351-第一圆板；352-螺环；353-电机座；354-线路管；355-第一气管；36-第一胶垫；37-支撑环；371-支撑环本体；372-通孔；373-第二磁铁；38-轴承；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.制作纳米双疏材料的装置，其特征在于：包括控制器(1)、二路混气系统(2)、生成器(3)、RF射频电源(4)、真空泵(5)和温控系统(6)，生成器(3)包括第一支架(31)、第二支架(32)、磁力架(33)、电机(34)、第一盖板(35)、支撑环(37)、发生装置外壳(312)、第二盖板(314)和套箍(315)，二路混气系统(2)上端分别设置RF射频电源(4)、第一支架(31)和第二支架(32)，磁力架(33)通过电机(34)固定连接至第一支架(31)一侧，磁力架(33)和位于发生装置外壳(312)内部的支撑环(37)构成磁力旋转结构，电机(34)一端固定连接至第一盖板(35)的第一端，电机(34)线路连接至第一盖板(35)，发生装置外壳(312)一端固定连接至第一盖板(35)的第二端，另一端通过套箍(315)固定连接至第二盖板(314)，第一盖板(35)信号连接至温控系统(6)，管路连接至二路混气系统(2)，第二盖板(314)管路连接至真空泵(5)，发生装置外壳(312)外围套接RF射频电源(4)，二路混气系统(2)、RF射频电源(4)、真空泵(5)、温控系统(6)均信号连接至控制器(1)，控制器(1)外接电源。/n...

【技术特征摘要】
1.制作纳米双疏材料的装置，其特征在于：包括控制器(1)、二路混气系统(2)、生成器(3)、RF射频电源(4)、真空泵(5)和温控系统(6)，生成器(3)包括第一支架(31)、第二支架(32)、磁力架(33)、电机(34)、第一盖板(35)、支撑环(37)、发生装置外壳(312)、第二盖板(314)和套箍(315)，二路混气系统(2)上端分别设置RF射频电源(4)、第一支架(31)和第二支架(32)，磁力架(33)通过电机(34)固定连接至第一支架(31)一侧，磁力架(33)和位于发生装置外壳(312)内部的支撑环(37)构成磁力旋转结构，电机(34)一端固定连接至第一盖板(35)的第一端，电机(34)线路连接至第一盖板(35)，发生装置外壳(312)一端固定连接至第一盖板(35)的第二端，另一端通过套箍(315)固定连接至第二盖板(314)，第一盖板(35)信号连接至温控系统(6)，管路连接至二路混气系统(2)，第二盖板(314)管路连接至真空泵(5)，发生装置外壳(312)外围套接RF射频电源(4)，二路混气系统(2)、RF射频电源(4)、真空泵(5)、温控系统(6)均信号连接至控制器(1)，控制器(1)外接电源。


2.根据权利要求1所述的制作纳米双疏材料的装置，其特征在于：所述生成器(3)还包括第一胶垫(36)、轴承(38)、轴套(39)、物料架(310)、加热管(311)和第二胶垫(313)，轴套(39)一端固定连接至第一盖板(35)，另一端固定连接至加热管(311)，轴套(39)外围依次套接轴承(38)、支撑环(37)和第一胶垫(36)，支撑环(37)一侧设置若干物料架(310)，加热管(311)、轴套(39)、轴承(38)、支撑环(37)和物料架(310)均位于发生装置外壳(312)内部，第一胶垫(36)位于第一盖板(35)与发生装置外壳(312)连接端口之间，第一胶垫(36)、第一盖板(35)和发生装置外壳(312)构成密封装置，第二胶垫(313)位于第二盖板(314)与发生装置外壳(312)连接端口之间，第二胶垫(313)、第二盖板(314)和发生装置外壳(312)构成密封装置。


3.根据权利要求2所述的制作纳米双疏材料的装置，其特征在于：所述第一胶垫(36)和第二胶垫(313)材质均为氟橡胶246。


4.根据权利要求2所述的制作纳米双疏材料的装置，其特征在于：所述支撑环(37)、轴承(38)和物料架(310)的材质均为陶瓷...

【专利技术属性】
技术研发人员：许建民，李晓峰，伊彬，辛金菲，
申请(专利权)人：天津日津科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12