下载制作纳米双疏材料的装置的技术资料

文档序号:26452447

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本实用新型提供了一种制作纳米双疏材料的装置,属于纳米材料领域,包括控制器、二路混气系统、生成器、RF射频电源、真空泵和温控系统,二路混气系统、RF射频电源、真空泵和温控系统均信号连接至控制器,生成器信号连接至温控系统,且生成器均管路连接至真...
该专利属于天津日津科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津日津科技股份有限公司授权不得商用。

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