一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备，该石墨舟的缓存导正装置包括：底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间。本案的石墨舟的缓存导正装置有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备
本技术涉及太阳能电池制备领域，特别涉及一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备。
技术介绍
在太阳能电池制备领域中，采用PEVCD方式在电池表面上沉积形成减反膜是众所周知中，在沉积过程中往往需要用到用于提供沉积反应空间的管式真空加热设备。在研究和优化PEVCD沉积工艺的过程中，技术人发现现有技术中的石墨舟的缓存导正装置至少存在如下问题：随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的432片，PECVD设备也由当初的两管发展到现在的五管，参照设备的工艺时间一般设备中仅配备一套机械手取放模组，故石墨舟被放入工艺腔以及由工艺腔中取出的过程中需要放置在多层缓存架中进行缓存，并且工艺完成后的石墨舟为热舟，需通过机械手取放模组将石墨舟放置于缓存架中进行散热，散热完成将石墨舟取走。在将石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，不可避免的对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。有鉴于此，实有必要开发一种石墨舟的缓存导正装置，用以解本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟的缓存导正装置，所述石墨舟具有位于其基准平面上的X轴与Y轴以及垂直于所述基准平面的Z轴,所述石墨舟沿着X轴方向延伸并且在其底部固接有在X轴方向上对称设置的定位导向组件，其特征在于，所述缓存导正装置包括：/n底座(340)，其位于所述石墨舟的正下方；/n两组校正机构(310)，在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构(310)与相应一组所述定位导向组件相配合；以及/n感应组件(350)，其包括触发组件(330)和响应组件(320)；/n其中，两组所述校正机构(310)在X轴方向上对称设置于所述底座(340)的两侧，以使得每一组所述校正机构(310)位于相应一组所述定位导向组...

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟的缓存导正装置，所述石墨舟具有位于其基准平面上的X轴与Y轴以及垂直于所述基准平面的Z轴,所述石墨舟沿着X轴方向延伸并且在其底部固接有在X轴方向上对称设置的定位导向组件，其特征在于，所述缓存导正装置包括：
底座(340)，其位于所述石墨舟的正下方；
两组校正机构(310)，在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构(310)与相应一组所述定位导向组件相配合；以及
感应组件(350)，其包括触发组件(330)和响应组件(320)；
其中，两组所述校正机构(310)在X轴方向上对称设置于所述底座(340)的两侧，以使得每一组所述校正机构(310)位于相应一组所述定位导向组件的正下方，所述感应组件(350)固定于所述底座(340)的一侧且位于两组所述校正机构(310)之间。


2.如权利要求1所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述触发组件(330)包括：
感应触碰块(331)，其设置于所述触发组件(330)的上端；
至少两个导向杆(332)，其包括压块浮动导向轴(3322)和压块浮动弹簧(3321)；
感应压块(333)，其固定连接所述导向杆(332)；
其中，所述感应触碰块(331)、所述导向杆(332)和所述感应压块(333)依次连接，且贯穿于连接板(334)。


3.如权利要求2所述的石墨舟的缓存导正装置，其特征在于，所述感应触碰块(331)和所述感应压块(333)分别突出于所述连接板(33...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉明，刘景博，陈晖，张庶，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32