一种气相沉积炉安装保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的是提供一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，套管为圆柱形中空结构，护板结构为弧形结构；整个套管、护板结构均采用PVC材质，小巧轻便、结实耐用，整体结构简单、使用方便，能够对气相沉积炉的内部进行清理，防止安装时衬底柱与阳极发生碰撞，导致阳极表面出现瑕疵、裂纹等不良现象，从而避免影响后续金刚石沉积的稳定性，对阳极起到保护作用的气相沉积炉安装保护装置，规范了对气相沉积炉的内部的衬底柱的拆卸操作，进而也避免了气相沉积炉内部其他元器件不被衬底柱所磕碰，尤其保护了阳极，延长了部件的使用寿命，提高了作业安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉安装保护装置
本技术涉及金刚石制造领域，尤其涉及一种气相沉积炉衬底柱安装过程中阳极等部件的保护装置。
技术介绍
生产一炉金刚石膜片后，需要对气相沉积炉的内部进行清理，防止影响后续金刚石沉积过程的稳定性；由于沉积金刚石的衬底柱与水冷器之间连接有用于冷却沉积时的水帽，因此在拆卸的过程中需要水平移动衬底柱；在移动的过程中，衬底柱会与阳极发生碰撞，导致阳极表面会出现瑕疵、裂纹等，从而会影响金刚石沉积过程的稳定性，以往都是采用人工手动拆装，由于对衬底柱缺乏相应的保护措施，需要从拆卸的过程中，对阳极作为保护，防止安装时衬底柱与阳极发生碰撞，需要对利用特殊的器具进行辅助，来降低拆装过程当中的风险。
技术实现思路
本技术的目的是提供了一种对气相沉积炉的内部进行清理，防止安装时衬底柱与阳极发生碰撞，导致阳极表面出现瑕疵、裂纹等不良现象，从而避免影响后续金刚石沉积的稳定性，对阳极起到保护作用的气相沉积炉安装保护装置。本技术的技术方案为：一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，所述防撞层位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，所述防撞层位于套管的外部，所述防撞层与套管为固定连接，所述护板结构位于套管一端的开口位置处，所述护板结构与套管为固定连接，所述减撞垫位于护板结构的内侧，所述减撞垫与护板结构为固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，所述防撞层位于套管的外部，所述防撞层与套管为固定连接，所述护板结构位于套管一端的开口位置处，所述护板结构与套管为固定连接，所述减撞垫位于护板结构的内侧，所述减撞垫与护板结构为固定连接。


2.根据权利要求1所述一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：所述套管为圆柱形中空结构。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张智宇，李文涛，
申请(专利权)人：天津市宝利欣超硬材料有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12