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本实用新型的目的是提供一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，套管为圆柱形中空结构，护板结构为弧形结构；整个套管、护板结构均采用PVC材质，小巧轻便、结实耐用，整体结构简单、使用方便，能够对气相沉积炉的...
该专利属于天津市宝利欣超硬材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市宝利欣超硬材料有限公司授权不得商用。

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