一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间。通过成对设置带多个穿丝孔的电极盘，热丝穿过穿丝孔架设在电极盘之间，并能根据待加工的零部件的形状调整热丝的布置方式，实现了一台热丝布置装置满足各种不同大小、不同形状的产品的加工需要，提高了通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置
本技术涉及热丝化学气相沉积金刚石膜领域，具体涉及一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置。
技术介绍
金刚石是目前已知硬度最高的固体物质，其化学性质稳定且坚固耐磨，广泛应用于各种需要承受较大压应力的场合。但由于其加工难度较大，难以直接加工为复杂的形状结构，现在普遍采用化学气相沉积法，通过气相沉积在任意复杂形状的产品上制备金刚石膜，使金刚石的性能得到充分利用。热丝化学气相沉积法制备金刚石膜是目前应用最广泛的一种制备方法，具有成膜面积大、设备投资小、制备成本低等优点。在热丝化学气相沉积法的关键步骤包括用灼热的钨丝加热分解碳物质，激活化学气相反应，使金刚石沉积到待加工零部件上成膜。因此热丝的合理布置是获得高质量、均匀金刚石膜的关键。问题在于，根据产品的形状及应用不同，热丝的排布方式也各种各样，常用的热丝布置方式有单丝、平行丝、环状丝、网状丝等。这些布丝结构在特定的产品加工中都能得到很好的应用，但无法通过一台设备对多种不同结构的零件进行加工，缺乏通用性。技术内容有鉴于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，其特征在于，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间；/n所述轴杆上还设有至少两个热丝牵引板，所述电极盘设置在所述热丝牵引板之间；所述热丝的两端穿过电极盘后分别与热丝牵引板连接；/n至少一个热丝牵引板为活动热丝牵引板，所述活动热丝牵引板具有沿着所述轴杆的轴向移动的自由度。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，其特征在于，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间；
所述轴杆上还设有至少两个热丝牵引板，所述电极盘设置在所述热丝牵引板之间；所述热丝的两端穿过电极盘后分别与热丝牵引板连接；
至少一个热丝牵引板为活动热丝牵引板，所述活动热丝牵引板具有沿着所述轴杆的轴向移动的自由度。


2.如权利要求1所述的用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，其特征在于，热丝牵引板包括固定热丝牵引板和活动热丝牵引板，所述活动热丝牵引板连接有弹簧，所述弹簧用于使活动热丝牵引板具有远离固定热丝牵引板的趋势。


3.如权利要求2所述的用于热丝化...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾祥才，李建国，丰杰，罗鑫，黄科瑞，
申请(专利权)人：久钻科技成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51