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本实用新型公开一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间。通过成对设置带多个穿丝孔的电极盘，热丝穿过穿丝孔架设在电...
该专利属于久钻科技(成都)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过久钻科技(成都)有限公司授权不得商用。

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