【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石膜制备，具体涉及一种热丝等距布置装置。
技术介绍
1、热丝化学气相沉积，简称hfcvd，是一种化学气相沉积技术。hfcvd利用化学反应将气体热解，在预定预定在基板上制备高质量的薄膜。该技术广泛应用于光电器件、生物传感器和热电材料等领域。hfcvd技术中，首先要保证恒定的化学反应速率，恒定的反应速率可以通过恒定的反应气体压力来实现，而恒定的气体速率是通过流量控制器来实现的。其次，还要保证相应的物理过程速率，如温度的控制是由热丝提供。下面以热丝化学气相沉积制备金刚石为例。热丝法化学气相沉积金刚石膜过程，热丝作用最为关键，它不仅可以使氢分子部分地离解成原子，而且也可以加速甲烷气体分解，产生具有合成金刚石必须sp3杂化轨道键碳原子基团。氢原子可以饱生长金刚石表面上碳原子(c)悬空sp3键，即形成c-h键合sp3键，而使金刚石表面趋于稳定，同时它也蚀除掉与金刚石共同沉积石墨及无定型碳。为了增强热丝活化区域温场均匀分布，必须特别注意热丝排布方式。
2、目前该行业中，热丝的布置有以下方式：在电极杆上开等距的凹槽，这样布丝的...
【技术保护点】
1.一种热丝等距布置装置，其特征在于，包括：电极杆(7)、套设在所述电极杆(7)上的多个热丝定位组件，每个所述热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝(1)，所述热丝定位组件上设有用于设定相邻所述热丝(1)之间距离的距离定位柱(6)，所述距离定位柱(6)与所述热丝定位组件可拆卸连接，且所述距离定位柱(6)在所述电极杆(7)上按照等差数列依次分布。
2.根据权利要求1所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述热丝定位组件包括套设在所述电极杆(7)上的滑动轮支撑件(3)以及设置在所述滑动轮支撑件(3)上的滑动轮(2)，所述热丝(1)滑动设置在所述滑动轮(2)的热丝安
【技术特征摘要】
1.一种热丝等距布置装置，其特征在于，包括：电极杆(7)、套设在所述电极杆(7)上的多个热丝定位组件，每个所述热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝(1)，所述热丝定位组件上设有用于设定相邻所述热丝(1)之间距离的距离定位柱(6)，所述距离定位柱(6)与所述热丝定位组件可拆卸连接，且所述距离定位柱(6)在所述电极杆(7)上按照等差数列依次分布。
2.根据权利要求1所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述热丝定位组件包括套设在所述电极杆(7)上的滑动轮支撑件(3)以及设置在所述滑动轮支撑件(3)上的滑动轮(2)，所述热丝(1)滑动设置在所述滑动轮(2)的热丝安装槽内。
3.根据权利要求2所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述滑动轮支撑件(3)的端部开设有暗销孔(10)，所述距离...
【专利技术属性】
技术研发人员：马骏，曾祥才，范云贵，姚毅，李波涛，
申请(专利权)人：久钻科技成都有限公司，
类型：新型
国别省市：
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