【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石膜制备，具体涉及一种热丝等距布置装置。
技术介绍
1、热丝化学气相沉积，简称hfcvd，是一种化学气相沉积技术。hfcvd利用化学反应将气体热解，在预定预定在基板上制备高质量的薄膜。该技术广泛应用于光电器件、生物传感器和热电材料等领域。hfcvd技术中，首先要保证恒定的化学反应速率，恒定的反应速率可以通过恒定的反应气体压力来实现，而恒定的气体速率是通过流量控制器来实现的。其次，还要保证相应的物理过程速率，如温度的控制是由热丝提供。下面以热丝化学气相沉积制备金刚石为例。热丝法化学气相沉积金刚石膜过程，热丝作用最为关键，它不仅可以使氢分子部分地离解成原子，而且也可以加速甲烷气体分解，产生具有合成金刚石必须sp3杂化轨道键碳原子基团。氢原子可以饱生长金刚石表面上碳原子(c)悬空sp3键，即形成c-h键合sp3键，而使金刚石表面趋于稳定，同时它也蚀除掉与金刚石共同沉积石墨及无定型碳。为了增强热丝活化区域温场均匀分布，必须特别注意热丝排布方式。
2、目前该行业中，热丝的布置有以下方式：在电极杆上开等距的凹槽，这样布丝的优点在于可以精确控制每根热丝的距离，实现沉积区域的温场均匀分布，但是该方式布丝有大量的弊端在工程应用过程中得以暴漏，弊端一：热丝在加热过程有效加热区间内会出现受热延展现象，热丝会出现肉眼可见的弯曲变形现象，与此同时热丝在配重块重力或者在弹簧拉力的作用下将弯曲的热丝拉直，在拉直的过程中电极杆上的凹槽与热丝之间存在较大的摩擦力，导致热丝出现断丝现象；弊端二：该布丝方式的前提是在电极杆上开等距的凹槽，这
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种热丝等距布置装置，以解决现有布丝方式会导致断丝、无法改变丝间距的问题。
2、本技术解决上述技术问题的技术方案如下：
3、一种热丝等距布置装置，包括：电极杆、套设在电极杆上的多个热丝定位组件，每个热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝，热丝定位组件上设有用于设定相邻热丝之间距离的距离定位柱，距离定位柱与热丝定位组件可拆卸连接，且距离定位柱在电极杆上按照等差数列依次分布。
4、采用上述技术方案产生的有益效果为：由于距离定位柱与热丝定位组件可以拆卸连接，这使得装置具有很高的灵活性和可调整性。用户可以根据需要调整相邻热丝之间的距离，以适应不同的加热需求或材料处理要求，增加了装置的适用范围。可拆卸的距离定位柱设计不仅便于调整热丝之间的距离，而且也便于维护和更换热丝。当某条热丝损坏或需要替换时，可以轻松进行操作，无需更换整个装置，从而降低了维护成本并提高了设备的使用寿命。
5、进一步地，热丝定位组件包括套设在电极杆上的滑动轮支撑件以及设置在滑动轮支撑件上的滑动轮，热丝滑动设置在滑动轮的热丝安装槽内。
6、进一步地，滑动轮支撑件的端部开设有暗销孔，距离定位柱的固定在暗销孔内。
7、进一步地，电极杆上还对称设置有限位卡，限位卡用于使设置在电极杆上的热丝定位组件与距离定位柱紧密贴合。
8、进一步地，限位卡通过多个紧固螺钉固定在电极杆上。
9、进一步地，滑动轮支撑件的一端设有滑动轮压片，滑动轮压片通过紧固螺栓将滑动轮与滑动轮支撑件紧固在一起。
10、进一步地，滑动轮设置热丝处为v形结构。
11、本技术具有以下有益效果：
12、本技术通过按等差数列分布热丝装置可以在不同位置产生不同密度的热量分布，有助于在加热过程中实现更均匀的温度分布，这种布局可以减少热点和冷点的出现，在用于hfcvd法制备金刚石膜时热丝的等距布置能显著提高加工质量和效率，本专利技术采用耐高温且绝缘的等差柱进行确定热丝距离，解决了传统布丝装置的断丝和丝距改变的缺陷和不足。
13、本技术具有很高的灵活性和可调整性。用户可以根据需要调整相邻热丝之间的距离，以适应不同的加热需求或材料处理要求，增加了装置的适用范围。当某条热丝损坏或需要替换时，可以轻松进行操作，无需更换整个装置，从而降低了维护成本并提高了设备的使用寿命。
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1.一种热丝等距布置装置，其特征在于，包括：电极杆(7)、套设在所述电极杆(7)上的多个热丝定位组件，每个所述热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝(1)，所述热丝定位组件上设有用于设定相邻所述热丝(1)之间距离的距离定位柱(6)，所述距离定位柱(6)与所述热丝定位组件可拆卸连接，且所述距离定位柱(6)在所述电极杆(7)上按照等差数列依次分布。
2.根据权利要求1所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述热丝定位组件包括套设在所述电极杆(7)上的滑动轮支撑件(3)以及设置在所述滑动轮支撑件(3)上的滑动轮(2)，所述热丝(1)滑动设置在所述滑动轮(2)的热丝安装槽内。
3.根据权利要求2所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述滑动轮支撑件(3)的端部开设有暗销孔(10)，所述距离定位柱(6)的固定在所述暗销孔(10)内。
4.根据权利要求1所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述电极杆(7)上还对称设置有限位卡(4)，所述限位卡(4)用于使设置在所述电极杆(7)上的所述热丝定位组件与所述距离定位柱(6)紧密贴合。
5.根据权利要求4所述
6.根据权利要求2所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述滑动轮支撑件(3)的一端设有滑动轮压片(8)，所述滑动轮压片(8)通过紧固螺栓(9)将所述滑动轮(2)与所述滑动轮支撑件(3)紧固在一起。
7.根据权利要求2所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述滑动轮(2)设置所述热丝(1)处为V形结构。
...【技术特征摘要】
1.一种热丝等距布置装置，其特征在于，包括：电极杆(7)、套设在所述电极杆(7)上的多个热丝定位组件，每个所述热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝(1)，所述热丝定位组件上设有用于设定相邻所述热丝(1)之间距离的距离定位柱(6)，所述距离定位柱(6)与所述热丝定位组件可拆卸连接，且所述距离定位柱(6)在所述电极杆(7)上按照等差数列依次分布。
2.根据权利要求1所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述热丝定位组件包括套设在所述电极杆(7)上的滑动轮支撑件(3)以及设置在所述滑动轮支撑件(3)上的滑动轮(2)，所述热丝(1)滑动设置在所述滑动轮(2)的热丝安装槽内。
3.根据权利要求2所述的热丝等距布置装置，其特征在于，所述滑动轮支撑件(3)的端部开设有暗销孔(10)，所述距离...
【专利技术属性】
技术研发人员：马骏，曾祥才，范云贵，姚毅，李波涛，
申请(专利权)人：久钻科技成都有限公司，
类型：新型
国别省市：
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