下载一种旋转支撑装置及MOCVD系统的技术资料

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本发明涉及MOCVD技术领域,尤其涉及一种旋转支撑装置及MOCVD系统,旋转支撑装置包括旋转平台和固定轴,旋转平台包括支撑平板和连接端,旋转平台与驱动装置连接,连接端的侧壁设有至少一个第一电极,固定轴为管状,固定轴同轴设置于连接端外侧,固定...
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