四探针头制造技术

一种供半导体材料测量电阻率用的精密四探针头，采用简易的定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构，并辅以上下模精密固定探针的浇注方法，使探针的游移误差达到≤±０．５％的高精密要求．采用铍青铜的平面弹簧片和螺旋弹簧圈作为探针弹性元件，可保持与探针有三点弹性接触的良好电接触和弹性恒压，易于更换探针，采用此结构的探针头其制作容易，定位精确，产品一致性好，成本降低１５倍，针头质量满足测量要求（*该技术在1995年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种测量半导体材料电阻率的四探针头，其特征是采用定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构。同时采用平面弹簧片和螺旋圈作探针的弹性元件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾南珍，伍乃文，闫雅新，王世进，
申请(专利权)人：广州半导体材料研究所，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]