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一种供半导体材料测量电阻率用的精密四探针头，采用简易的定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构，并辅以上下模精密固定探针的浇注方法，使探针的游移误差达到≤±０．５％的高精密要求．采用铍青铜的平面弹簧片和螺旋弹簧圈作为探针弹...
该专利属于广州半导体材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广州半导体材料研究所授权不得商用。

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