电子元件的测试方法技术

一种测试电子元件的方法包括驱动测试装置的界面。该界面可以根据测试确定参数。该测试方法提出一个第一和唯一的学习阶段，在该阶段中确定一个可能最早的时间作为测量时间。然后该方法包括执行调整阶段，来确定在应用阶段中使用的调整测量时间。该调整阶段短、快和精确，并且用来最优化测试的总的进行时间，和同时也最优化产品的收益性，事实上，根据总和数据确定测量时间。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的目的是提供一种测试电子元件的方法。更具体地说，本专利技术可以用于半导体电子元件，特别是集成电路等元件的测试。在现有技术中，已知一种测试电子元件的方法，减少了每个元件的单位测试时间。本专利技术的价值在于这样的事实，它提出了一种测试方法，首先减少了单位测试时间，其次使得测试工具的生产效率最优化。本专利技术是对1997年12月4日出版的国际专利No．WO97／45748的改进。该国际申请的主题以引用方式结合在本申请中。一个电子元件通常具有几种功能。因此元件要进行一系列的测试。来测试每种功能。根据文件WO97／45748的测试方法可以用于这种系列测试中的每一种中。测试通常包括几个连续的基本步骤。这种用于测试电子元件的方法包括以下基本步骤--在开始日Di，元件端，认为是测试的输入端，具有电位Vi；--在一个时间段中等待一个响应的出现，并且该响应在被认为是测试的输出端的元件端变得稳定；--在该时间段结束时，在测量日DM，测量该反应。在一个例子中，测量在这些输出端的电位值Vs。在测试过程中，元件已经接收了一个信号，在特定的时间段结束时已经测量了元件对应于该信号的反应。然后，查明该元件是否具有对应于该测试的可以接受的结果。--将测得的响应与可以接受的固定标准相比较。也就是说，在该例子中，将电位Vs的值与可以接受的更高和／或更低的极限值相比较。由于电子元件具有已知的结构，能够在理论上确定一个时间段，在该元件的输入端作用电位Vi之后，在该时间段结束时在元件的输出端观察所希望的反应。由于这个理论上的时间是已知的，例如由电子元件的设计者计算出来的，确定了用于该测试的标称测量时间Do。标称测量时间Do是开始日Di之后的一个时间。此外，标称测量时间使得开始日Di与标称测量日Do之间的间隔大于理论时间的该间隔。事实上，为确定该标称时间Do选择一个安全的极限值。然后，该标称时间Do用来作为待测元件的测量时间Dm。该选择对于保证得到符合测量的结果是优选的，导致了进行测量的总时间的增大。由于对于作用在元件上的系列测试的所有测试都是这样的，因此对于这种元件的总的测试时间非常可观地增大了。国际申请WO97／45748设想了一种测试方法，用于减小开始日Di与测量日Dm之间的时间段。事实上，由于将测试方法设计成连续上千次或者甚至更多次地作用到本身就是批量生产的电子元件上，根据该文件，作用给一组这样的元件的测试方法包括--第一“学习阶段”和--第二“应用阶段”。在学习阶段中，考虑测试一批可以接受的元件。可以接受的元件是这些在等于标称测量时间Do的测量时间Dm进行的测试中具有很好的结果的元件。该量是“用于学习数量”，下文中称之为“学习数量”。在一个例子中，该学习数量可以包括一个单个的电子元件。然后，利用在该学习数量的基础上得到的结果，寻求限定一个测量时间，它是可能的最早测量时间。对于该目的，通过向输入端重复作用信号，并且在一个中间测量时间Dmi，最好是早于标称测量时间Do时读出输出端处的电位Vs的值，重复准备在该学习数量上进行的测试。如果学习数量包括一个单个元件，则通过利用同样的测量时间Dmi或者Do来重复该同样的测试，来得到对应于每个测试时间的几个结果。因此，进行对分的或者步进的程序来测试早于标称时间的测量时间。为了从这些测试的中间测量时间Dmi中选择一个测量时间，在它们之间进行比较--该学习数量的结果的统计图，是在中间测量时间Dmi得到的；--同样的学习数量的结果的统计图，是在标称测量时间Do得到的。事实上，对于每个测试的中间测量时间Dmi，确定一个所得到的结果的统计图。该统计图具体包括平均值M的计算和标准偏差S的计算。另外，为了相互对比两个统计图，使用统计评价准则。该准则需要知道要进行对比的图的平均值和标准偏差值。为在测量时间Dmi得到的每个统计图确定一个关于Cpi的评价准则D。在一个例子中，评价准则Cpi等于极限值之间的差值与标准偏差之间的比值。通过制造者的公差可以给出极限值之间的差值，例如To。然后Cpi等于To除以S。为了相互比较统计图，比较它们相应的评价准则Cpi。选择可能的最早中间测量时间Dmi作为测量时间。另外该测量时间使得评价准则Cpi在评价准则Cpo的一定比例中，其中Cpo是代表在标称时间Do测量的值的统计图的评价准则。在信号Vi已经施加到该元件的输入端之后，对于每个中间测量时间所确定的一组统计图给出一个在输出端测量的值的变化。在第一个例子中，如果对于所有进行测试的中间测量时间Dmi，观察在输出端测量的电位值的宽范围的变化，没有任何值的任何优势，则其表示用这些测量时间测试的电子元件的行为是不可靠的。事实上，直到标称测量时间Do，电位一直在变动并且从来没有正确地稳定过。在这种情况下，不能选择低于标称测量时间的测量时间。在第二个例子中，也是不合适的，即使在标称测量时间Do，得到一条曲线，表示在输出端测量的非稳定电位值。因此需要选择一个高于标称时间的测量时间。在第三个例子中，表示在电子元件的输出端测量的值的变化的曲线是用细线表示的。然后能够考虑与标称测量时间相关的中间测量时间。然而，即使在该例子中，能够确定一个最小的测量时间，在其下面由低于该最小时间的测量时间得到的结果的统计图是不一致的。例如，利用在标称测量时间得到的结果，中间测量时间得到的结果必须保持在可以接受的极限值之内。提供该测试方法来选择中间测量时间，该时间是可能的最早时间，但保证该中间测量时间高于最小时间。然后将在学习阶段中选择的该中间测量时间用来作为要测试的所有其它电子元件的测量时间Dm。因此，在应用阶段中，该中间测量时间连续地作用。在国际专利WO97／45748中提出的这种方法具有几个问题。该方法的第一个问题在于这样一个事实，在测试一批元件之前，需要进行一个学习阶段。然而该学习阶段很长，并且蒙受了时间损失。另外，在该学习阶段中确定的中间测量时间可能是在应用阶段中引起待测电子元件的高淘汰率的原因。如果给定学习阶段的持续时间，不能太频繁地进行。因此该方法导致测量时间的使用不适合于进行部分批量的测试。利用学习阶段，不能给出可以减少测试时间的最优化的中间测量时间，和不能给出对于测试的生产收益性的最优选的时间。事实上，如果学习阶段已经导致选择了非常早的中间测量时间，然后在应用阶段中在该测量时间进行的测试下，许多电子元件将不合格。然后这些元件将错误地从合格产品取走，并且待测工具的最终收益性将低于用更晚的测量时间进行的测试中得到的收益性。本专利技术的目的在于，通过提出一种测试方法克服所提到的问题，该测试方法包括一个单独的学习阶段，它的教导可以在测试方法的应用阶段中重新使用。另外，根据本专利技术的测试方法提出了在应用阶段中测量时间的调整阶段。因此，例如在给定数量的测试元件的末端，有规律地调整测量时间，使得它对应于处理的产品的测试持续期间总是最优化的，和对应于测试产品的收益性是最优化的。事实上，由于待测试的产品的特性可以时时变化，同样的测量时间不能连续地使用。根据待测试的产品的特定特性需要调整测量时间。事实上，待测试的输出特性可能由于时间而不同。然而，不需要将产品的这些部分从可以接受的元件的数量中分开。另外，本专利技术提出一种测试方法，其中通过考虑待测元件的内在特性，确定作用给本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试电子元件的方法，其中在开始日（Ｄｉ），在元件（２）的端（４）施加一个电位（Ｖｉ）；在一个测量时间（Ｄｍ），测量施加在该元件端（５）的电位值（Ｖｓ）；作为比较的作用，为了接受或者淘汰该元件，将测量的电位值与可以接受的极限值 进行比较；在应用阶段之前的学习阶段中，通过作用给一定量的可以接受的元件的标准，考虑该一定量的可以接受的元件的统计图，确定测量时间；选择可能的最早日期作为测量时间；其中：在应用阶段在至少一个调整阶段的过程中，调整已经确定的测量 时间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普勒尤内，
申请(专利权)人：索福特林克公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]