测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法。该测试装置用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案。前述测试装置具备多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给被测试元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。在文献参考可被接受的国家，下述申请案的记载内容也一并列入本申请案的参考内容，做为本申请案的一部分。日本专利特愿2003-069833申请日平成15年3月14日
技术介绍
习知以来，在测试被测试元件的测试装置中，一般所采用的方式是测试装置的控制处理器取得使用于被测试元件的测试图案档案，再提供给测试图案产生器。近年来，随着半导体元件积集度的提高，测试图案档案也大容量化。接着，随着测试图案档案的大容量化，控制处理器取得使用于被测试元件的测试图案档案后再提供给测试图案产生器的时间也增加，这会妨碍到半导体元件的测试的高速化。此即本专利技术所要解决的问题。
技术实现思路
因此，为了达成上数目的，依据本专利技术的第一型态，提出一种测试装置，用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试被测试元件的测试图案。测试装置包括多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给该被测试元件。前述该些分割图案记录区域是压缩再记录该些分割图案，该些变换处理部是藉由彼此并行还原互相不同的该些分割图案记录区域所记录、压缩的该些分割图案来进行变换。此外，被还原的各该些分割图案包括应提供给该测试图案产生器的一测试资料(资料即为数据，以下均称为资料)，以及应储存该测试图案资料的显示该测试图案产生器内的一位址(位址即为地址，以下均称为位址)的一测试图案位址；该测试装置更包括一分割图案供应部，用以将被该些变换处理部还原的该些分割图案所包括的该测试图案资料，储存到该测试图案产生器中的对应该测试图案资料的该测试图案位址。上述测试装置包括多数个该测试图案产生器，被还原的各该些分割图案更包括测试图案产生器识别资讯，以指定应储存该测试图案资料的其中之一该测试图案产生器，其中分割图案供应部是将被该些变换处理部还原的该些分割图案所包括的该测试图案资料，储存到对应该测试图案资料的该测试图案产生器识别资讯所指定的其中之一该测试图案产生器中的该测试图案位址所指示的位置。本专利技术的测试装置可以更包括中继部，用以中继记忆该测试图案档案的一记忆装置与该些变换处理部之间的通讯，其中该中继部与该些变换处理部之间分别所设置的多数个通讯路的每一个，是低于该记忆装置与该中继部之间的通讯路的通讯量。前述测试装置中，测试图案档案可以更包括储存位置记录区域，用以记录在该测试图案档案中的各该些分割图案的一储存位置。其中之一该变换处理部包括一储存位置选择部，其依据该储存位置，选择其他该些变换处理部应还原的该些分割图案的该些储存位置。其他各该些变换处理部是还原在该测试图案档案中的该储存位置选择部所选择的该储存位置所记录的该分割图案。此外，依据本专利技术的第二型态，本专利技术提出一种测试图案记录媒体，记录测试图案，测试图案使用于被测试元件的测试。该记录媒体包括多数个压缩图案记录区域，用以压缩、记录将测试该被测试元件的一测试图案加以分割的多数个分割图案；以及储存位置记录区域，用以记录在该测试图案档案中的各该些分割图案的一储存位置。前述测试图案记录媒体中的各该些分割图案可以包括应提供给一测试图案产生器的一测试资料，以及应储存该测试图案资料的显示该测试图案产生器内的位址的测试图案位址。此外，依据本专利技术的第三型态，本专利技术提出一种测试装置用程式，用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案，以及储存位置记录区域，用以记录各该些分割图案的储存位置。该测试装置用程式是使该测试装置包括功能储存位置选择部，依据该储存位置记录区域，多数地选择彼此互异的该些分割图案记录区域所记录的各该些分割图案的一储存位置；以及多数个变换处理部，分别彼此并行地变换在该测试图案档案中的被该储存位置选择部所选择的该储存位置所记录的该分割图案。此外，依据本专利技术的第四型态，本专利技术提出一种控制方法，以控制用于测试被测试元件的测试装置。使用于该被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案。该控制方法包括一变换步骤，并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生步骤，用以供应被变换的该测试图案给该被测试元件。经由上述可知，本专利技术是有关于一种。该测试装置用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案。前述测试装置具备多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给被测试元件。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并非列举本专利技术的所有必要特征，从此些特征群的次组合也为本专利技术的范围。并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1绘示本专利技术的实施例的测试装置10。图2绘示本实施例的测试图案档案50的档案结构。图3绘示本实施例的压缩图案记录区域200的资料结构。图4绘示本实施例的测试装置的处理流程。图5绘示本专利技术实施例的还原处理部110的硬件架构的例子。10测试装置 20被测试元件30档案伺服器 40测试图案储存部50测试图案 60计算机100中继部 110a～b还原处理部120分割图案供应部 130测试图案产生器140储存位置选择部 150还原部160外部通讯路 170内部通讯路200压缩图案记录区域210储存位置记录区域220分割图案指标300测试图案元件310测试图案资料320测试图案位址 330测试图案产生器ID 500CPU510ROM520RAM530通讯介面 535分割图案供应介面540硬碟机 550软碟机560CD-ROM光碟机 590软碟595CD-ROM光碟片具体实施方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的其具体实施方式、结构、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。接着，以专利技术的实施例来说明本专利技术，但是以下的实施型态并非用来限制本专利技术的申请专利范围，实施例中所说明的特征的全部组合并非限定为本专利技术的必须解决手段。图1绘示本专利技术的实施例的测试装置10。测试装置10连接到被测试元件20以及档案伺服器30，并使用连接到档案伺服器30的测试图案储存部40内所储存的测试图案50，对一或多数个测试元件20进行测试。测试装置10的目的是藉由分割且并列地变换测试图案档案50，来使用大容量的测试图案档案50，来更有效率地进行测试。做为本实施例测试装置10的“变换”的例子，分割压缩的测试图案档案50且并列地进行“复原”来进行变换。被测试元件20为做为测试装置10的测试对象的半导体元件。档本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置，用以测试被测试元件，其中使用于该被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案，其特征在于该测试装置包括：多数个变换处理部，彼此并行地 变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给该被测试元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊木德雄，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]