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本发明是有关于一种测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法。该测试装置用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试...
该专利属于爱德万测试株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱德万测试株式会社授权不得商用。

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