垂直式高频探针卡制造技术

技术编号:2630465 阅读:305 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术一种垂直式高频探针卡,包括有一电路板及一探针组,电路板上设置有多数个信号线路及接地线路,与各信号线路相邻特定的间距上设有至少一接地线路,接地线路电性导通至一接地面;探针组位于电路板下方,具有一导电层、多数个信号探针、多数个补偿探针、至少一接地探针、一上导板及一下导板,上导板设于电路板上,各探针为正向穿设二导板,导电层设于下导板上且补偿探针及接地探针皆与导电层电性接触,各信号探针电性连接各信号线路,与各信号探针相邻特定的间距上并列设置有至少一补偿探针,各补偿探针与接地面电性导通。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种垂直式高频探针卡,其特征在于包括有:一电路板,区分为上、下相对的一上表面及一下表面,该电路板上设置有多数个信号线路及接地线路;以及,一探针组,设于该电路板的下表面上,具有一导电层、多数个信号探针、至少一补偿探针、至少一接 地探针及上、下分别设置的一上导板与一下导板,各该信号探针、补偿探针、接地探针及该导电层皆为具导电性的金属材质所制成,该上导板设于该电路板上,该导电层设于该下导板,各该信号探针、补偿探针及接地探针穿设该上、下导板,该上、下导板之间具有一容置空间,各该信号探针及接地探针于该容置空间中位移,各该信号探针电性连接各该信号线路,各该接地探针电性连接各该接地线路,该至少一补偿探针与该信号探针并列设置,各该接地探针及补偿探针电性连接该导电层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:林信宏顾伟正陈建良吴世昌陈明祈洪文兴
申请(专利权)人:旺矽科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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