探针卡组件和将探针粘连至该探针卡组件的方法技术

本发明专利技术提供了一种探针卡组件。该探针卡组件包括限定了多个孔的衬底层和多个探针。每个探针具有基底和尖端。每个探针的基底被配置为至少部分地插入多个孔中的一个内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测试诸如集成电路的半导体器件的设备。更具 体地，本专利技术涉及一种探针卡组件及将探针元件粘连至该探针卡组 件的方法。
技术介绍
在半导体集成电路的制造过程中，传统的做法在制造过程中以 及在发货之前测试集成电路("IC")以确保正常工作。晶片测试是 通常在安装晶片的半导体IC的生产测试过程中常^f吏用的一项已知 测试方法，其中，在自动测试设备(ATE)和安装在晶片上的每个 IC之间建立临时电流，以i正实IC的性能正常。可以在晶片测"i式过 程中使用的元件包括ATE测试板，ATE测试板是连接至ATE的多 层印刷电路板，并且在ATE和探针卡组件之间来回传送测试信号。 探针卡组件(或探针卡)包括印刷电路板，印刷电路板通常包括几 百个探测指针(或"探针，，)，其经过定位以与IC晶片上的许多连接 端子(或"芯片接点，，)建立电接触。 已知的纟笨针卡组件包括可从Kulicke和Soffa的Willow Grove， PA公司购得的探针卡。这样的探针卡包括印刷电路板、具有多个柔 性探针的探针头、和将探针电连接至印刷电路板的空间变换器 (space transformer )。空间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡组件，包括：衬底层，用于限定多个孔；以及多个探针，每个探针具有基底和尖端，其中，每个探针的所述基底被配置为至少部分地插入所述多个孔中的一个内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：巴哈德尔图纳博伊卢，哈比卜卡利察斯兰，
申请(专利权)人：SV探针私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]