光学检测系统及其整合式光学检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种光学检测系统的整合式光学检测装置，包含一最靠近受测发光元件且将其光线转变成平行光的第一物镜、一位于第一物镜下游侧且将光线分成第一、二检测光的导光单元、一位于导光单元的第一下游侧以检测第一检测光的亮度及光谱的收光模块、一位于导光单元的第二下游侧以对第二检测光进行对焦的第二物镜、一位于第二物镜下游侧以检测第二检测光的近场光学特性的影像撷取单元，以及一位于导光单元的第二下游侧且位于第二物镜上游侧以衰减第二检测光的减光单元。本发明专利技术检测效率高，且能避免设计复杂、收光不足及更换受测元件需重新对焦等问题。件需重新对焦等问题。件需重新对焦等问题。

【技术实现步骤摘要】
光学检测系统及其整合式光学检测装置


[0001]本专利技术与用于检测电子元件的检测系统有关，特别是关于一种用于检测发光元件的光学检测系统及其整合式光学检测装置。

技术介绍

[0002]随着镭射技术的发展，镭射二极管可以应用在读写数据、通讯、发光、测量距离或感测各种物体等，用途十分地广泛。一般来说，镭射二极管为利用半导体制程制造出来，基本上镭射二极管可分为边射型(edge emitting)与面射型(surface emitting)两类，近来面射型镭射二极管，例如垂直式共振腔面射型镭射(vertical
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cavity surface
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emitting laser；简称VCSEL)芯片，因结构与特性符合市场需求，未来将成为成本低且应用广泛的光电元件，市场可期。
[0003]为了确保镭射二极管出货时的质量，在测试时需要点亮镭射二极管，并检测镭射二极管的各种光电参数是否正常。其中，进行发光效能检测时，通常是通过一探针卡的探针点触一受测元件的导电接点而使受测元件发光，并同时通过光接收装置(例如积分球)接收本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统的整合式光学检测装置，用于检测一发光元件发出的一光线，所述光线沿一光学路径进入所述整合式光学检测装置；其特征在于所述整合式光学检测装置包含有：一第一物镜，位于所述整合式光学检测装置最靠近所述发光元件的位置，用于接收所述光线并将所述光线转变成平行光；一导光单元，在所述光学路径上位于所述第一物镜的一下游侧，用于将所述光线分成一第一检测光及一第二检测光，使得所述光学路径分成一第一子路径及一第二子路径；一收光模块，在所述光学路径的第一子路径上位于所述导光单元的一第一下游侧，所述第一检测光自所述导光单元沿所述第一子路径进入所述收光模块，以供所述收光模块检测所述第一检测光的亮度及光谱的至少其中之一；一第二物镜，在所述光学路径的第二子路径上位于所述导光单元的一第二下游侧，用于对所述第二检测光进行对焦；一影像撷取单元，在所述光学路径的第二子路径上位于所述第二物镜的一下游侧，用于检测所述第二检测光透过所述第二物镜对焦后的近场光学特性；一减光单元，在所述光学路径的第二子路径上位于所述导光单元的所述第二下游侧，所述第二检测光自所述导光单元沿所述第二子路径进入所述减光单元，供所述减光单元衰减所述第二检测光；其中，所述减光单元位于所述第二物镜的一上游侧。2.如权利要求1所述的光学检测系统的整合式光学检测装置，其特征在于：所述收光模块设置在所述导光单元的一反射光路上，所述减光单元设置在所述导光单元的一透射光路上，所述光线沿着一光学轴地自所述发光元件发射出来，所述透射光路平行于所述光学轴。3.如权利要求1所述的光学检测系统的整合式光学检测装置，其特征在于：所述光线沿着一光学轴地自所述发光元件发射出来，所述第一物镜、所述导光单元、所述减光单元、所述第二物镜及所述影像撷取单元沿着所述光学轴配置。4.一种光学检测系统的整合式光学检测装置，用于检测一发光元件发出的一光线；特征在于所述整合式光学检测装置包含有：一导光单元；一第一物镜，设置于所述导光单元的一第一侧，用于接收所述光线并将所述光线转变成平行光后入射至所述导光单元，以供所述导光单元将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴秉颖，刘永钦，彭柏翰，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：