环氧高频率探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种环氧高频率探针卡，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。本实用新型专利技术使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

环氧高频率探针卡
本技术涉及一种探针卡，特别是涉及一种环氧高频率探针卡。
技术介绍
现有的高频芯片测试过程中，基本上是每个需要高频测试的焊点(PAD)上需要扎一根高频测试探针。基本上是每个需要高频测试的PAD上需要扎一根高频测试探针，每根针需要单独固定，在测试的过程中因为每个探针间角度等的差异，会导致平整度不好。另由于套管的直径所限，针尖会与套管会有一定的距离，导致频率流失。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种环氧高频率探针卡，其使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种环氧高频率探针卡，其特征在于，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。本技术的积极进步效果在于:本技术使得所有针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。附图说明图1为本技术环氧高频率探针卡的结构示意图。具体实施方式以下结合附图给出本技术较佳实施例，以详细说明本技术的技术方案。如图1所示,本技术环氧高频率探针卡包括SMA (Sub-Miniature-Α,称为“反极性公头”)接口 1、金属套管2、绝缘套管3、探针4、铜片5、环氧树脂包6，SMA接口 I与金属套管2的一端连接，金属套管2的另一端与绝缘套管3的一端连接，绝缘套管3的另一端与探针4固定，铜片5包裹住探针4，环氧树脂包6套在金属套管2上且靠近探针4。探针4的下方设有需测试的焊点。环氧树脂包套在金属套管，探针、金属套管都与绝缘套管固定，这样环氧树脂包可以固定探针的位置，使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性，减少维护成本。探针的外面使用铜片包裹并与金属套管焊接接地，减少了噪声对测试的影响，大大增加了测试的频率，可达到IOG以上。本技术使用环氧探针卡技术解决高频探针之间的差异导致的测试不稳定，增加对高频信号的接地保护，减少噪声影响。上述实施例不作为对本技术的限定，凡在本技术的范围内所作的任何修改、等同替换、改进等，均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环氧高频率探针卡，其特征在于，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。

【技术特征摘要】
1.一种环氧高频率探针卡，其特征在于，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：隆英，安奎，
申请(专利权)人：上海依然半导体测试有限公司，
类型：实用新型
国别省市：