测试装置、测试方法、及测试控制程序制造方法及图纸

以减少测试控制所必需的中央处理装置的数目，降低半导体测试装置的故障率为目的，提供一种测试装置，其具有进行多个被测器件的测试的多个测试模块和根据被指定的工作模式，控制多个测试模块的测试动作的中央处理装置；在该测试装置中，中央处理装置，在指定的工作模式是通过多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制多个测试模块的每个中的测试动作，另一方面，在指定的工作模式是通过每个测试模块以独立执行相互不同的测试的独立测试模式时，通过每个测试模块边转换边执行多个该测试用过程以并行控制所述多个测试模块。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测试装置、测试方法、及测试控制程序。本专利技术尤其涉及 通过由中央处理装置执行的测试用过程，来测试被测器件的测试装置、测 试方法、及测试控制程序。本专利技术与下列日本申请有关，对于承认根据文献参照而插入的指定国 而言，通过参照将下述日本国申请所记载的内容插入到本申请中，作为本 申请记载的一部分。特愿2005 - 084576号申请日2005年3月23曰
技术介绍
过去，使用具有测试多个被测器件的多个测试模块的半导体测试装 置。该半导体测试装置具有分别对应多个测试模块的多个中央处理装置，每 个测试模块，接受与该当测试模块对应而设置的中央处理装置的控制，这 样，由于多个被测器件同时并行测试，可以提高测试效率。目前，尚未确认先前公知文献的存在，因此省略其相关的记载。 通常，作为通用部品，能够比较廉价购到的中央处理装置具有20年到30 年的MTBF(平均无故障间隔Mean Time Between Failure),这样，中央处 理装置无论采用单个还是5个以下的较少数的多个，都有足够长的时间。 但是，通过1台半导体测试装置，同时并行进行测试的、作为测试对象的 器件数，有时达到数百个的程度，即使可以通过一个测试模块来进行多个 器件的测试，也需要至少100个左右的中央处理装置。例如，在半导体测试装置上设置100个中央处理装置的情况下，这些 中央处理装置整体的MTBF成为2000小时到3000小时程度的时间。这再加 上半导体测试装置的其他部分的故障率考虑，不能说是足够大。即，通过 该构成，半导体测试装置的故障率将上升，有时其实用性会成为问题。另 一方面，近年的中央处理装置充分的低价格高功能化， 一个中央处理装置 控制一个测试模块，其中央处理装置的处理能力也有剩余。
技术实现思路
为此，本专利技术的目的在于，提供一种能够解决上述技术问题的测试装 置、测试方法、以及测试控制程序。其目的是通过在权利要求范围中的独 立权利要求所述的特征组合来达成的。另外，从属项规定了本专利技术更有利 的具体例。为了解决上述课题，本专利技术的第1方案提供一种测试装置，是测试多 个被测器件的测试装置，包括，连接到所述多个被测器件，进行该多个被 测器件的测试的多个测试模块、和根据被指定的工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置；所述中央处理装置，在指定的所述 工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式 时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每 个中的测试动作，在指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块的每一 个，独立进行相互不同的测试的独立测试模式时，对每个测试模块执行控 制该测试模块的测试用过程，且通过一边转换一边执行多个该测试用过程 以并行控制所述多个测试模块。另外，所述多个测试模块的每一个，在受到对应的测试用过程的控制 时，进行根据该控制内容的测试动作，所述中央处理装置在被指定的所述工作模式是所述独立测试模式时， 在第1所述测试模块及第2所述测试模块都在等待对应的测试用过程的控 制的状态中，可以让对应所述第1测试模块的第1所述测试用过程的执行， 优先于对应所述第2测试模块的第2所述测试用过程的执行而先完成，以 所述第1测试模块进行测试动作的状态，来控制第2所述测试模块。另外，所述中央处理装置，在所述第1测试用过程存取所述第1测试 模块而处于等待状态之间时，可以代替所述第1测试用过程以执行所述第2 测试用过程。所述中央处理装置，在所述第1测试用过程存取所述第1测试模块结束 时，代替所述第2测试用过程的执行，再开始所述第1测试用过程的执行。 另外，本专利技术的第2方案提供一种测试方法，是通过测试多个被测器 件的测试装置，来测试所述多个被测器件的测试方法，所述测试装置包括， 连接到所述多个被测器件，进行该当多个被测器件的测试的多个测试模 块、根据被指定的所述工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中 央处理装置、通过所述中央处理装置，在指定的所述工作模式是通过所述 多个测试模块同时并行进行同 一测试的并行测试模式时，通过执行预先确 定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作，在 被指定的所述工作模式，是根据所述多个测试模块的每一个，独立执行相 互不同的测试的独立测试模式时，对每个测试模块4丸行控制该当测试模块 的测试程序，通过一边转换一边执行多个该当测试用过程，以并行控制所 述多个测试模块。还有，本专利技术的第3方案提供一种测试控制程序，是控制测试多个被 测器件的测试装置的测试控制程序，所述测试装置包括，连接到所述多个被测器件，以进行该当多个被测器件的测试的多个测试模块、根据被指定 的工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置、所述中 央处理装置，在指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进 行同一测试的并行测试才莫式时，通过^l行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作；被指定的所述工作模式，是根据所述多个测试模块的每一 个，独立执行相互不同的测试的独立测试模 式时，对每个测试模块执行控制该当测试模块的测试用过程，通过一边转 换一边执行多个该当测试用过程，以并行控制所述多个测试模块。另外，上述专利技术的概要，并不是列举了本专利技术所必需的全部特征，这些特征群的次(sub)组合也可成为专利技术。根据本专利技术，可通过减少测试控制所禽要的中央处理装置的数目，降 低半导体测试装置的故障率。另外，上述专利技术的概要，并不是列举了本专利技术所必需的全部特征，这 些特征群的次组合也可成为专利技术。附图说明图1，以并行测试模式工作时的测试装置10的构成。图2,以独立测试模式工作时的测试装置10的构成。图3，表示并行测试模式中的控制相及测试动作相的时序图。图4，表示独立测试模式中的控制相及测试动作相的时序框图。附图标记1 0 :测试装置2 0 :测试才莫块2 5 :被测器件3 0 :中央处理装置 3 5 :测试用过程3 8 :测试用过程具体实施方式以下，通过实施例对本专利技术进行说明，但本专利技术的权利范围并不限定 于以下实施例，而且实施例中说明的特征的组合的全部并不一定都是本发 明的解决手段所必要的特征。图1，表示并行测试模式动作中的测试装置10的构成。测试装置10具 有测试模块20-1~4、中央处理装置30。测试模块20-1 ~ 4连接被测器件 (DUT: Device Under Test ) 25-1 ~ 4，以进行该当被测器件25 — 1 ~ 4的测试。例如，测试模块20-1~4的每一个， 一个一个连接到被测器件25-1 ~4 的每一个，以进行对应的被测器件的测试。中央处理装置30根据指定的工作模式，来控制各测试模块20-1 ~ 4的 测试动作。例如，本图中，给出了被指定的动作模式是通过多个测试模块 同时并行进行同一测试的并行测试才莫式时的构成，即，在这种情况下，中 央处理装置30通过执行预先确定的一个测试用过程35，来控制所述多个测 试模块20-1 ~ 4的每个中的测试动作。作为控制的详细处理内容，测试用 过程35中，例如，对测试模块20-1 ~ 4的每个一齐发送测试动作时所需的 参数，以设定在测试模块20-1~4的每个中。另外，测试用过程35亦收集 上述测试模本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置，是测试多个被测器件的测试装置，其特征在于包括：连接到所述多个被测器件，进行该当多个被测器件的测试的多个测试模块、根据被指定的工作模式，控制所述多个测试模块的测试动作的中央处理装置；所述中央处理装置，在所指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式的情况下，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制所述多个测试模块的每个中的测试动作，在所指定的所述工作模式是通过所述多个测试模块的每一个，独立进行相互不同的测试的独立测试模式的情况下，对每个测试模块执行控制该测试模块的测试用过程，通过边切换边执行多个该当测试用过程，并行控制所述多个测试模块。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊木德雄，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]