电路检测的方法技术

本发明专利技术一种电路检测的方法包含了以下步骤：提供一具有一导线（ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　　ｌｉｎｅ）的基底；并形成一金属层于上述至少一导线上，进而加强导线以及邻接区域的对比，以利电路的检测，上述方法还包含了移除金属层，此金属层是通过硝酸、过氧化氢以及氟化硼酸（ｆｌｕｏｒｉｄｅ　　ｂｏｒｉｃ　　ａｃｉｄ）的混合物而加以移除，上述金属包含了银、镍或锡，沉积金属（ｄｅｐｏｓｉｔ　　ｍｅｔａｌ）可通过内部扩散（ｉｎｔｅｒ　　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ）而移除，并于下方的导线中形成金属间化合物（ｉｎｔｅｒｍｅｔａｌｌｉｃ　　ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ），例如Ｃｕ↓［６］Ｓｎ↓［５］。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种通过加强显影区 域以及未显影区域间的对比而加以检测电路的方法。
技术介绍
自动光学检测(automated optical inspection, AOI)系统是用来 检测电路的缺陷；上述系统可用以检测合乎规格的元件的存在以及其方 位、适当的锡球排列(solder joint formation)、导线以及不需要的残 渣，例女口光刻胶残余(photo resist residue)。当电路的线宽变窄时，利用肉眼的检测方式将更加容易出错。照传 统来说，欲找出一电路的缺陷将需要经验的积累并应用特性要因图 (cause and effect diagram)来找出问题的所在。上述方式不只需耗费 许多时间，而且也不易找到合格的人员来负责此项工作。因此，在过去 数年来，自动光学检测成为了相当热门的电路检测技术。主要的自动检测方法包含了通过白光以及激光光束所作的检测。利 用白光的检测方法是通过投射白光于电路上，然后由光线感应器(light sensor)加以检测反射的光线信号(reflecting light signal);最后再使用影像处理软体处理接收信号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电路检测的方法，其特征在于，包含：提供一具有导线的基底；以及形成一金属层于至少一该导线上，进而加强该导线以及邻接区域的对比，以利该电路的检测。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：胡玉山，胡迪群，
申请(专利权)人：育霈科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]