【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一个高精度位置检测设备,其组成包括:位置检测装置(14,16),用来检测表明作周期和重复运动的物体(10)的位置的位置信号(θ,θA,θB):联接装置(12,13),用来把所说的物体(10)连接到所说的存在偏心的位置检测装置(14, 16):连接偏心检测装置(20,200—210),与所说的位置检测装置(14,16)相连,用来从位置检测信号(θ,θA,θB)中检测与由于联接装置(12,13)连接所引起的偏心相应的偏心信号(Δθ,θM):以及真实位置信号合成装置( 18,162,164),与所说的位置检测装置(14,16)和所说的联接偏心检测装置( ...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:中村利孝,黑岩昭彦,
申请(专利权)人:株式会社东芝,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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