角速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。

【技术实现步骤摘要】
角速度传感器
本专利技术大体上涉及一种角速度传感器，更具体地涉及一种具有多个音叉式振动器的角速度传感器。
技术介绍
角速度传感器检测旋转的角速度，并且用于避免由于手运动而导致图像模糊，并应用于诸如汽车导航系统、机动车、机器人姿态控制系统等系统。日本专利申请特开平9-292229号公报(以下称为文献1)公开了一种配备有多个柱状振动器的角速度传感器。日本专利No.3418245(以下称为文献2)公开了一种检测多个轴线并以两点支承柱状振动器的角速度传感器。上述柱状或棒状振动器被称作音杆式振动器。另外，国际公报No.WO 03/100350(以下称为文献3)公开了一种音叉式振动器，其具有基部以及从该基部延伸的多个臂部。音杆式振动器不能相对于外部振动调整振动平衡来抵消振动。因此，若如文献1和文献2中所述在一个外壳中布置两个音杆式振动器，那么在各音杆式振动器中由外部振动引起的不必要振动(泄漏振动)会彼此干涉(干涉噪音)，并会使角速度的检测精度变差。此外，音杆式振动器在固有振动频率下具有窄的不动区。如果在各音杆式振动器中支承不动区之外的区域，那么其中一个音杆式振动器的驱动振动会传播到另一音杆式振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，其中，所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。

【技术特征摘要】
JP 2006-4-19 2006-1160011、一种角速度传感器，该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，其中，所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。2、如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器还包括：多个支承部，所述多个支承部分别支承所述多个音叉式振动器；和安装所述多个支承部的安装部。3、如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器还包括吸音部，该吸音部吸收设置在所述安装部中的所述多个音叉式振动器的振动。4、如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，在所述多个音叉式振动器中的至少一个中，其重心位于第一区域的正上方或者位于第二区域的正上方，所述第一区域即支承音叉式振动器的相应支承部的支承面投影在包括该音叉式振动器的重心、该音叉式振动器的重力方向和纵向的投影面上所在的区域，所述第二区域即所述相应支承部的待安装在所述安装部上的安装面投影在所述投影面上所在的区域。5、如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个在支承相应音叉式振动器的支承面中包括第一结合...

【专利技术属性】
技术研发人员：山地隆行，石川宽，今井彰，小笠原昭二，胜木隆史，高桥勇治，中泽文彦，高木宏明，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]