角速度传感器制造技术

本发明专利技术提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及角速度传感器，更具体地说，涉及能够感测围绕三个正交轴的角速度的角速度传感器。
技术介绍
角速度传感器是感测转动的角速度的传感器，并且用在防止摄像机抖动的系统中、交通工具导航系统中、控制交通工具的位置或机器人的姿态的系统中等。具有音叉振动器的角速度传感器被公知为一种角速度传感器。音叉振动器具有基部和从该基部延伸的多个臂，并且具有感测围绕所述臂沿其延伸的感测轴的角速度的功能。日本特开2006-300577号公报和2006-308543号公报公开了使用由具有分别的感测轴的音叉振动器形成的两个角速度传感器的技术。根据以上公报中提出的技术，可以通过如下的三个音叉振动来感测围绕三个不同感测轴的角速度：所述三个音叉振动被排列为使得音叉振动器的臂分别沿所述三个方向排列。然而，这种排列需要很大安装体积。
技术实现思路
鉴于上述情况而提出了本专利技术，本专利技术提供了需要的安装体积减小的三轴角速度传感器。根据本专利技术的一方面，提供有一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和从所述第一基部沿第一方向延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，该角速度传感器包括：　　　　第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；　　　　第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及　　　　双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。

【技术特征摘要】
JP 2007-1-23 2007-0121661.一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互正交。3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第四方向和所述第五方向相互正交。4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器被设置为使得所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器的至少一部分在与包括所述第一方向和所述第二方向的平面水平的方向上相互重叠。5.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，相对于所述第一音叉振动器和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：山地隆行，石川宽，高桥勇治，胜木隆史，中泽文彦，井上广章，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]