激光束检查仪制造技术

一种激光束检查仪，适于检查诸如安装在一基底上的诸ＩＣ的电子元件。检查仪包括一扫描机构。该扫描机构的作用是移动激光发射器发射的激光束，以在一给定扫描范围中扫描电子元件的一对象目标物。扫描机构被设计成可以根据对象电子元件的类型（例如尺寸）改变激光束的发射方向，以改变扫描范围，由此，无论被检查的电子元件的类型如何，都能使检查误差降到最小。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
(1)
本专利技术总的涉及一种检查其上制有电子部件的基底上是否有缺陷的激光束检查仪，尤其涉及这样一种激光束检查仪，它被设计成可以监控电子部件或元件是否安装在基底上的所需位置处以及它们是否是所需要的正确的电子部件或元件。(2)
技术介绍
已有技术上述类型的检查仪一般包括一向每一电子元件诸如安装在一基底上的IC放射激光束的激光发射器、一接收从电子元件或部件返回的激光束的激光接收器和一处理返回激光束以获得有关电子元件外观的信息的检查线路。具体地讲，这类检查仪设计成用三角测量法以获得有关电子元件的外观信息。但是，上述检查仪具有这样的缺陷，即当电子元件的尺寸改变时，就可能出现检查误差。具体地讲，检查仪首先固定一扫描范围，激光束在该扫描范围内照射到基底上，然后在该扫描范围用激光束进行扫描，以确定在该范围内的电子元件中的目标(靶)件的尺寸大小，以及该目标电子元件是否安装在正确的方位。因此，当需要在已确定的所述扫描范围内检查一较大的元件时，由于这个扫描范围是在前一检查周期内检查较小元件时确定的，这就有可能不能扫描到该较大电子元件包括公差在内的整个区域，这就导致检查误差。反之，在前面一阶段检查一较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查仪，它包括： 一激光发射器，发射用于检查若干目标物的激光； 一移动从所述激光发射器发射的激光束的扫描机构，以在一给定扫描范围中扫描诸目标物的一个对象目标，所述扫描机构设计成可以改变激光束的发射方位，以改变扫描范围；以及 一接收从对象目标返回的激光束的激光接收器，以提供被检查目标物的数据。

【技术特征摘要】
JP 2000-10-26 326605/00;JP 1999-12-3 344482/99所述的本发明的原理的情况下，本发明的保护范围包括所示实施例以及所示实施例以外的所有可能的实施例及其种种变化。权利要求1.一种检查仪，它包括一激光发射器，发射用于检查若干目标物的激光；一移动从所述激光发射器发射的激光束的扫描机构，以在一给定扫描范围中扫描诸目标物的一个对象目标，所述扫描机构设计成可以改变激光束的发射方位，以改变扫描范围；以及一接收从对象目标返回的激光束的激光接收器，以提供被检查目标物的数据；其特征在于，所述扫描机构包括沿所述激光发射器发射的激光束的光学路径而彼此相邻设置的折射件，并使所述折射件绕一给定旋转轴旋转，所述扫描机构被设计成可以改变折射件之间的相对角。2.如权利要求1所述的检查仪，其特征在于，这些折射件由平板制成。3.如权利要求1所述的检查仪，其特征在于，所述扫描机构使折射件沿相同方向绕所述给定旋转轴旋转，以获得激光束的圆形扫描；所述扫描机构在折射件之间保持一给定的相对角，并使折射件旋转，以在扫描范围获得激光束的圆形扫描。4.如权利要求3所述的检查仪，其特征在于，所述扫描机构包括一角度变化机构，它被设计成可以改变折射件之间的相对角，以改变扫描范围，然后旋转折射件，同时保持该相对角，以在改变的扫描范围中获得激光束的圆形扫描。5.如权利要求4所述的检查仪，其特征在于，所述角度改变机构改变折射件中的一个的旋转速度，以改变扫描范围。6.如权利要求4所述的检查仪，其特征在于，还包括一移动机构，它被设计成使检查仪在完成一个目标物的扫描之后从该目标物移动到另一尺寸不同的目标物，所述角度改变机构在检查仪移动过程中改变折射件之间的相对角。7.如权利要求1所述的检查仪，其特征在于，所述扫描机构可使折射件以相反的方向绕给定旋转轴同速度地旋转，以获得激光束...

【专利技术属性】
技术研发人员：市川巌，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]